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本发明公开了一种适用于透射式光学元件光程均匀性测量的检测装置，包括：双频激光器、用于形成测量光学腔及补偿光学腔的支架、分光镜、转折镜、角锥镜、用于干涉测量的接收器及处理电路、用于实现面阵扫描的转台及直线位移台、主控器。本发明检测装置结构简单...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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