【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于精密仪器与测量
，特别涉及一种立式直线基准方 法与装置。
技术介绍
气浮导轨在立式状态下使用时，常被作为高精度立式直线基准应用于 精密/超精密测量仪器、试验装备与制造装备中。目前常用的立式气浮导轨 主要由气浮导套和导轨立柱组成，在气浮导套和导轨立柱之间构建气膜间 隙以形成气体支承和润滑后，在电机等驱动系统的作用下，气浮导套及置 于其上的负载沿导轨立柱上下运动。该结构形式的气浮导轨在使用中存在如下几个问题 一是径向支承刚度较小、抗干扰能力差，因此在有冲击和 扰动时，X向和Y向气膜厚度产生微量变化，表现为运动部件的微"颤动"； 二是气浮导轨系统内由于气膜紊乱引起运动部件中、高频微振动导致运动 系统直线运动轨迹不平滑，运动重复性较差；三是运动部件处于定位状态 时，因内外扰动使得运动系统定位稳定性和可靠性较差，尤其在沿导轨立 柱方向上存在随机的微"颤动"。上述问题极大地限制了立式气浮导轨的应 用和制约了其性能指标的进一步提高。为解决立式气浮导轨刚度低、抗干扰能力弱的问题，国内外学者和工 程技术人员做了很多有益尝试，分别研制出被动补偿式膜压导轨、主动内...
【技术保护点】
一种立式直线基准方法，该方法包括以下步骤： （１）、首先构建一个四面环抱式全封闭立式气浮导轨作为直线导向基准，并在导轨中充入压力气体使可动部件围绕固定部件完全浮起，可动部件所受气膜支承力为Ｆ↓［１］，其特征在于： （２）、在所述 气浮导轨的可动部件和固定部件之间引入固体相，该固体相与可动部件保持同步运动，并以软摩擦形式单侧或双侧作用于固定部件对应的气浮工作表面上，接触压力为Ｆ↓［２］，可动部件处于开式或闭式支承状态； （３）、根据固体相的材料特性及在气浮导轨上 的配置结构，在Ｆ↓［１］＞Ｆ↓［２］条件下，对Ｆ↓［１］、Ｆ↓［２］进行参数优化并...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：谭久彬，黄景志，金国良，杨文国，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：93[]
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