用于施加薄膜涂层的真空设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于施加薄膜涂层的真空设备，其包括安装在框架上并且设置有技术装置的至少一个处理室；安装在运输系统上的至少一个负载锁定室，所述运输系统配置为将负载锁定室从装载/卸载位置移动到处理室下方的操作位置；基板保持架，其用于将基板定位在其上以施加薄膜涂层，所述基板保持架可以绕其轴线旋转；用于将基板保持架从负载锁定室转移到处理室的进给装置；真空门，其位于所述处理室和负载锁定室之间并且配置为将所述负载锁定室和处理室的内部空间分开；以及处理和负载锁定室对接装置；其中，在处理室的上部安装有夹具，其配置为在基板表面处理期间将基板保持架固定在处理室的内部空间内并且使基板保持架绕其轴线旋转。

【技术实现步骤摘要】
用于施加薄膜涂层的真空设备
本技术涉及用于施加涂层的技术设备领域，即用于施加具有特定光学、电学和其它特性的薄膜涂层的真空技术设备。
技术介绍
从现有技术中已知用于将薄膜涂层施加到工件上的各种装置。与本技术的最接近的类似物是国际申请WO2017/156614(2017年9月21日公布)中公开的用于施加薄膜涂层的真空设备，其包括安装在框架上并且设置有技术装置的至少一个处理室；安装在运输系统上的至少一个负载锁定室，所述运输系统配置为将负载锁定室从装载/卸载位置移动到处理室下方的操作位置；基板保持架，其用于将基板定位在其上以施加薄膜涂层，所述基板保持架可以绕其轴线旋转；用于将基板保持架从负载锁定室转移到处理室的进给装置；真空门，其位于所述室之间并且配置为将所述负载锁定室和处理室的内部空间分开。其中，进给装置能够将基板保持架转移到处理室中直到其与旋转驱动装置连接，因此，在基板保持架的随后旋转期间，进给装置不会返回到负载锁定室中，而且负载锁定室与处理室之间的真空门保持打开状态。所述结构的缺点在于增加了工艺流程的时间，由于在工艺流程期间必须在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于施加薄膜涂层的真空设备，其包括安装在框架上并且设置有技术装置的至少一个处理室；安装在运输系统上的至少一个负载锁定室，所述运输系统配置为将负载锁定室从装载/卸载位置移动到处理室下方的操作位置；基板保持架，其用于将基板定位在其上以施加薄膜涂层，所述基板保持架可以绕其轴线旋转；用于将基板保持架从负载锁定室转移到处理室的进给装置；真空门，其位于所述处理室和负载锁定室之间并且配置为将所述负载锁定室和处理室的内部空间分开；以及处理和负载锁定室对接装置；其中，在处理室的上部安装有夹具，其配置为在基板表面处理期间将基板保持架固定在处理室的内部空间内并且使基板保持架绕其轴线旋转。/n

【技术特征摘要】
20180829 BY u201802341.一种用于施加薄膜涂层的真空设备，其包括安装在框架上并且设置有技术装置的至少一个处理室；安装在运输系统上的至少一个负载锁定室，所述运输系统配置为将负载锁定室从装载/卸载位置移动到处理室下方的操作位置；基板保持架，其用于将基板定位在其上以施加薄膜涂层，所述基板保持架可以绕其轴线旋转；用于将基板保持架从负载锁定室转移到处理室的进给装置；真空门，其位于所述处理室和负载锁定室之间并且配置为将所述负载锁定室和处理室的内部空间分开；以及处理和负载锁定室对接装置；其中，在处理室的上部安装有夹具，其配置为在基板表面处理期间将基板保持架固定在处理室的内部空间内并且使基板保持架绕其轴线旋转。


2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述夹具包括板、基座、气动驱动装置，所述基座通过可移动连接与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：亚乌根·艾雷克斯纳德维奇·克哈克卢，坎斯坦钦·耶夫根尼耶维奇·米亚斯尼库，林星龙，
申请(专利权)人：伊扎维克技术有限责任公司，
类型：新型
国别省市：白俄罗斯;BY