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本实用新型提供一种用于施加薄膜涂层的真空设备，其包括安装在框架上并且设置有技术装置的至少一个处理室；安装在运输系统上的至少一个负载锁定室，所述运输系统配置为将负载锁定室从装载/卸载位置移动到处理室下方的操作位置；基板保持架，其用于将基板定位...
该专利属于伊扎维克技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过伊扎维克技术有限责任公司授权不得商用。

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