一种高精度二维小角度测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高精度二维小角度测量装置，属于光学非接触小型集成化的二维小角度测量技术。该装置包括二维光探头、光电测试及计算机通讯与控制装置；光探头包括半导体激光器、偏光分光镜、１／４波片、反射镜、分光镜、临界角棱镜、光电二极管；分光镜３将物体表面反射光分为两束正交的光，进入由上述部件构成的ＸＹ和ＹＺ一维角度测量平面；输出信号分别经Ｉ－Ｖ变换、加法、减法、除法电路，由单片机控制进行Ａ／Ｄ转换；经数字滤波后进行开关量输出、上位机通讯及显示。本发明专利技术的优点在于实现了光电测试装置和计算机通讯与控制装置的一体化，光探头通过电缆与前述部分连接，系统精度高、分辨力和测量范围可调、体积小、结构简单，分辨力可达０．０５ａｒｃｓｅｃ，测量范围为±６００ａｒｃｓｅｃ。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种高精度二维小角度测量装置，属于光学非接触小型集成化的二维小角度测量技术。
技术介绍
目前，常用的光学测角方法包括光学分度头法、多面棱体法、光电编码法、自准直法、莫尔条纹法、平行干涉图法、圆光栅法、激光干涉法以及环形激光法等。而对于小角度测量(α≤1°，特别是±10～20arcmin以内)，主要测量方法包括激光小角度测量仪法、标准光学角规法、圆光栅测角法、激光干涉测量法、光电自准直仪法。虽然这些方法能提供较高的测量精度，但基于此设计的测量系统结构比较复杂、体积较大，安装空间受限，大部分只能进行一维角度的测量。要想实现二维角度测量，通常都是两个一维装置组合起来，结果是测量系统的体积更加庞大，因而在工业实际应用中具有较大的局限性，特别是很难与加工机械结合用于在线测量。因此，要寻找体积小、测量分辨力高且具有一定测量范围的二维小角度测量装置以适应在线测量的要求。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种高精度二维小角度测量装置，该装置在一维角度测量的基础上，通过分光系统，设立2个一维角度测量装置，从而实现具有一定测量范围的二维光学非接触小角度测量装置，克服现有小角度测量方法本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高精度二维小角度测量装置，其特征在于该装置包括二维光探头、光电测试装置及计算机通讯与控制装置，所述的二维光探头包括准直半导体激光器（２），偏光分光镜及夹持架（１６），１／４波片及夹持架（１７），物体表面或反射镜（１），３个分光镜及夹持架（３）、（４）、（１５），４个两个临界角棱镜及夹持架（５）、（８）、（１２）、（１３），４个光电二极管及夹持架（７）、（９）、（１０）、（１４）；其中（４）、（５）、（７）、（８）、（９）构成ＸＹ平面的一维角度测量，（１０）、（１２）、（１３）、（１４）、（１５）构成ＹＺ平面的一维角度测量，分光镜（３）将物体表面反射光分为两束互相正交的光，分别进入ＸＹ、ＹＺ...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘庆纲，李德春，李志刚，胡小鹏，匡登峰，田会斌，李敏，王璐，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：12[中国|天津]