光学非接触式小角度测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种光学非接触式小角度测量装置，属于小角度测量技术。该装置包括光探头、光电测试装置及计算机通讯与控制装置，光探头包括准直半导体激光器、偏光分光镜、１／４波片、物体表面或反射镜、分光镜、内反射棱镜和光电二极管，光学及光电器件均固定在基板上；光电测试装置包括信号处理单元，信号分别经Ｉ－Ｖ变换、加法、减法、除法电路，其后进行Ａ／Ｄ转换；计算机通讯与控制装置包括单片机、数字滤波、开关量输出端口、上位机通讯接口、显示装置。本发明专利技术的优点在于实现了光电测试装置和计算机通讯与控制装置的一体化，光探头通过电缆与前述部分连接；仪器体积小、结构简单、精度高、分辨力和测量范围可调，分辨力可达０．０５ａｒｃｓｅｃ，测量范围为±６００ａｒｃｓｅｃ。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光学非接触式小角度测量装置，属于小角度测量技术。
技术介绍
目前，常用的光学测角方法包括光学分度头法、多面棱体法、光电编码法、自准直法、莫尔条纹法、平行干涉图法、圆光栅法、激光干涉法以及环形激光法等。而对于小角度测量(α≤1°，特别是±10～20arcmin以内)，主要测量方法包括激光小角度测量仪法、标准光学角规法、圆光栅测角法、激光干涉测量法、光电自准直仪法。虽然这些方法能提供较高的测量精度，但基于此设计的测量系统结构比较复杂、体积较大，安装空间受限，因而在工业实际应用中具有较大的局限性，特别是很难与加工机械结合用于在线测量。因此，要寻找体积小、测量分辨力高且具有一定测量范围的小角度测量方法以适应在线测量的要求。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种高精度小角度测量装置，克服现有小角度测量方法的不足，系统具有体积小、结构简单、调整方便、稳定性高、可作为带数据显示角度传感器使用等特点，并可设计适应多种测量精度和测量范围，可广泛用于精密、超精密测量控制，在线精密加工制造领域。本专利技术的目的是通过如下技术方案实现的一种光学非接触式小角度测量装置，其特征在于该装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学非接触式小角度测量装置，其特征在于该装置包括光探头、光电测试装置及计算机通讯与控制装置，所述的光探头包括准直半导体激光器、偏光分光镜、１／４波片、物体表面或反射镜、分光镜、两个内反射棱镜和两个光电二极管，上述的光学及光电器件均由弹性紧固装置或固定装置固定在基板上；所述的光电测试装置包括两个Ｉ－Ｖ变换电路，电压信号分别进入到加法电路和减法电路，加法结果和减法结果再进入到除法电路，其后进行Ａ／Ｄ转换；计算机通讯与控制装置包括单片机（ＭＣＵ）、数字滤波、开关量输出端口、上位机通讯接口、显示装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘庆纲，李志刚，李德春，胡小鹏，田会斌，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：12[中国|天津]