下载光学非接触式小角度测量装置的技术资料

文档序号:2528727

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本发明公开了一种光学非接触式小角度测量装置,属于小角度测量技术。该装置包括光探头、光电测试装置及计算机通讯与控制装置,光探头包括准直半导体激光器、偏光分光镜、1/4波片、物体表面或反射镜、分光镜、内反射棱镜和光电二极管,光学及光电器件均固定...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。

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