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本发明公开了一种高精度二维小角度测量装置，属于光学非接触小型集成化的二维小角度测量技术。该装置包括二维光探头、光电测试及计算机通讯与控制装置；光探头包括半导体激光器、偏光分光镜、１／４波片、反射镜、分光镜、临界角棱镜、光电二极管；分光镜３将...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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