一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构制造技术

本实用新型专利技术具体是一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构，属于开关领域，包括呈并排设置的供晶圆柜体和顶盖视窗，所述供晶圆柜体和所述顶盖视窗之间安装有气缸部件；进而，气缸部件可实现顶盖视窗开合，区别于传统手动操作，顶盖视窗的打开，关闭，压紧均利用气缸部件自动化完成，减少人工操作，提高效率并安装氮气弹簧作为保护减少安全隐患。

【技术实现步骤摘要】
一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构
本技术涉及开关领域，具体是一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构。
技术介绍
供晶圆柜体是将晶圆放入其中后自动送入反应腔的部分，操作者在放入晶圆时需要松开顶盖视窗的压紧机构然后手动打开顶盖视窗后再放入晶圆，放入晶圆后再手动关上顶盖视窗，并拧紧顶盖视窗压紧机构，然后抽真空传送晶圆，传统的机构操作复杂，对操作者要求较高，压紧机构的手动拧紧的程度将直接影响下一步柜体抽真空能否完成，如果真空度达不到要求则需要再次拧紧调整顶盖视窗压紧机构，而且由于顶盖视窗重量很重，手动打开需要操作者有一定力量并且存在脱手砸伤等安全隐患。以及，供晶圆柜体是需要在真空度和反应腔体一致的情况下才能传送晶圆，所以对顶盖视窗关上后密封O型圈能否压紧密封具有很高要求，而且在频繁放入晶圆开关门并调整压紧装置的情况下操作复杂效率低，给操作者体能增加了很大负担。针对上述问题，本技术提供一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构，包括呈并排设置的供晶圆柜体和顶盖视窗，所述供晶圆柜体和所述顶盖视窗之间安装有气缸部件；进而，气缸部件可实现顶盖视窗开合，区别于传统手动操作，顶盖视窗的打开，关闭，压紧均利用气缸部件自动化完成，减少人工操作，提高效率并安装氮气弹簧作为保护减少安全隐患。本技术进一步的方案：所述气缸部件的前端固定有固定杆，而在固定杆分别转动固定有一个传动轴，传动轴的另一端固定在旋转轴上，旋转轴通过两个呈平行设置的轴承座转动固定在供晶圆柜体上，以及旋转轴上固定有铰链连接块，而铰链连接块另一端通过螺丝固定在顶盖视窗上。本技术再进一步的方案：所述传动轴设置呈弧形。本技术再进一步的方案：所述轴承座和供晶圆柜体通过螺丝进行固定。本技术再进一步的方案：所述铰链连接块设置有两个，且呈平行分布。进而，气缸部件通气后气缸活塞杆收缩，从而利用固定杆带动传动轴逆时针旋转，传动轴带动旋转轴转动，而旋转轴在轴承座的支撑下实现稳定逆时针旋转，进而旋转的旋转轴带动铰链连接块拉动顶盖视窗逆时针旋转打开。本技术再进一步的方案：所述气缸部件上设有安装座，而安装座转动固定在供晶圆柜体上。本技术再进一步的方案：所述气缸部件上设有气缸活塞杆。与现有技术相比，本技术的有益效果是：气缸部件可实现顶盖视窗开合，区别于传统手动操作，顶盖视窗的打开，关闭，压紧均利用气缸部件自动化完成，减少人工操作，提高效率并安装氮气弹簧作为保护减少安全隐患。附图说明图1为本技术供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构的俯视结构示意图。图2为本技术供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构的主视结构示意图。图中：1-气缸部件；2-供晶圆柜体；3-旋转轴；4-轴承座；5-传动轴；6-铰链连接块；7-顶盖视窗。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。实施例1供晶圆柜体是将晶圆放入其中后自动送入反应腔的部分，操作者在放入晶圆时需要松开顶盖视窗的压紧机构然后手动打开顶盖视窗后再放入晶圆，放入晶圆后再手动关上顶盖视窗，并拧紧顶盖视窗压紧机构，然后抽真空传送晶圆，传统的机构操作复杂，对操作者要求较高，压紧机构的手动拧紧的程度将直接影响下一步柜体抽真空能否完成，如果真空度达不到要求则需要再次拧紧调整顶盖视窗压紧机构，而且由于顶盖视窗重量很重，手动打开需要操作者有一定力量并且存在脱手砸伤等安全隐患。以及，供晶圆柜体是需要在真空度和反应腔体一致的情况下才能传送晶圆，所以对顶盖视窗关上后密封O型圈能否压紧密封具有很高要求，而且在频繁放入晶圆开关门并调整压紧装置的情况下操作复杂效率低，给操作者体能增加了很大负担。针对上述问题，本技术提供一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构。具体如图1和图2所示，一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构，包括呈并排设置的供晶圆柜体2和顶盖视窗7，所述供晶圆柜体2和所述顶盖视窗7之间安装有气缸部件1；进而，气缸部件1可实现顶盖视窗7开合，区别于传统手动操作，顶盖视窗7的打开，关闭，压紧均利用气缸部件1自动化完成，减少人工操作，提高效率并安装氮气弹簧作为保护减少安全隐患。为了进行进一步的说明，具体的：所述气缸部件1的前端固定有固定杆，而在固定杆分别转动固定有一个传动轴5，传动轴5的另一端固定在旋转轴3上，旋转轴3通过两个呈平行设置的轴承座4转动固定在供晶圆柜体2上，以及旋转轴3上固定有铰链连接块6，而铰链连接块6另一端通过螺丝固定在顶盖视窗7上。优化的，所述传动轴5设置呈弧形。优化的，所述轴承座4和供晶圆柜体2通过螺丝进行固定。优化的，所述铰链连接块6设置有两个，且呈平行分布。进而，气缸部件1通气后气缸活塞杆收缩，从而利用固定杆带动传动轴5逆时针旋转，传动轴5带动旋转轴3转动，而旋转轴3在轴承座4的支撑下实现稳定逆时针旋转，进而旋转的旋转轴3带动铰链连接块6拉动顶盖视窗7逆时针旋转打开。实施例2本技术实施例是在实施例1的基础上进行的进一步的限定。如图1和图2所示，所述气缸部件1上设有安装座，而安装座转动固定在供晶圆柜体2上。优化的，所述气缸部件1上设有气缸活塞杆。本技术的工作原理是：本技术供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构，气缸部件1可实现顶盖视窗7开合，区别于传统手动操作，顶盖视窗7的打开，关闭，压紧均利用气缸部件1自动化完成，减少人工操作，提高效率并安装氮气弹簧作为保护减少安全隐患。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构，包括呈并排设置的供晶圆柜体（2）和顶盖视窗（7），其特征在于，所述供晶圆柜体（2）和所述顶盖视窗（7）之间安装有气缸部件（1）。/n

【技术特征摘要】
1.一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构，包括呈并排设置的供晶圆柜体（2）和顶盖视窗（7），其特征在于，所述供晶圆柜体（2）和所述顶盖视窗（7）之间安装有气缸部件（1）。


2.根据权利要求1所述的一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，所述气缸部件（1）的前端固定有固定杆，而在固定杆分别转动固定有一个传动轴（5），传动轴（5）的另一端固定在旋转轴（3）上，旋转轴（3）通过两个呈平行设置的轴承座（4）转动固定在供晶圆柜体（2）上，以及旋转轴（3）上固定有铰链连接块（6），而铰链连接块（6）另一端通过螺丝固定在顶盖视窗（7）上。


3.根据权利要求2所述的一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑锦，吴俊冉，倪明，薛传洲，
申请(专利权)人：南京原磊纳米材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32