一种柱形靶材加工用高效清洗装置制造方法及图纸

技术编号:25263327 阅读:18 留言:0更新日期:2020-08-14 22:59
本实用新型专利技术公开了一种柱形靶材加工用高效清洗装置,包括箱体和支撑脚,所述箱体的下方前后两端左右两侧均固接有支撑脚,所述箱体的内部安装有清扫组件,所述清扫组件的外侧安装有清洗组件,所述第三弹簧的内侧上方均设有垫块,所述垫块与第二横板固定相连。该柱形靶材加工用高效清洗装置,通过电机、靶材、水泵、第一齿轮、第二齿轮、毛刷、箱体、喷头、套块和转轴之间的配合,解决了现有技术仅采用水洗的方式导致清理效果较差的问题,通过箱体、靶材、刮板、横杆、套筒、第一弹簧、卡块和第二弹簧之间的配合,使在靶材取出之间将刮板贴在靶材表面在将靶材拉出,解决了现有技术清洗后表面的水量过多导致进行烘干时需要的时间较长的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种柱形靶材加工用高效清洗装置
本技术涉及靶材
,具体为一种柱形靶材加工用高效清洗装置。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源,简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应,虽然现有技术能够实现对靶材的清洗,但是现有技术存在仅采用水洗的方式导致清理效果较差的问题,同时仍存在清洗后表面的水量过多导致进行烘干时需要的时间较长的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种柱形靶材加工用高效清洗装置,以解决上述
技术介绍
中提出的仅采用水洗的方式导致清理效果较差的问题,同时仍存在清洗后表面的水量过多导致进行烘干时需要的时间较长的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种柱形靶材加工用高效清洗装置,包括箱体和支撑脚,所述箱体的下方前后两端左右两侧均固接有支撑脚,所述箱体的内部安装有清扫组件,所述清扫组件的外侧安装有清洗组件,所述箱体的上方左右两侧安装有刮水组件,所述箱体的内部中心设有靶材,所述靶材的下方设有第二横板,所述第二横板的下方通过多个第三弹簧与箱体活动相连,所述第三弹簧的内侧上方均设有垫块,所述垫块与第二横板固定相连。优选的,所述清扫组件包括第一轴承、毛刷、第一齿轮、电机箱、电机、第二齿轮、第二轴承和转轴,所述电机箱位于箱体的正下方,所述电机箱的内部固接有电机,所述电机的输出轴与第二齿轮固定相连,所述第二齿轮的外侧设有四个第一齿轮,所述第一齿轮与第二齿轮相互啮合,所述第一齿轮的内部固接有转轴,所述转轴的外壁上下两侧均通过第一轴承与箱体转动相连,所述转轴的外壁下端与第二轴承的内壁固定相连,所述转轴的外壁固接有多个毛刷。优选的,所述清洗组件包括水孔、第二竖杆、水泵、水箱、水管、套块、第三轴承和喷头,所述水箱固接在电机箱的外壁,所述水箱的左右两侧均连通有水管,所述水管的外壁安装有水泵,所述第二轴承的外壁与水箱固定相连,所述水箱与转轴相连通,所述箱体的内部四角均固接有第二竖杆,所述第二竖杆的外壁固接有多个套块,所述套块的内侧内部上下两端均通过第三轴承与转轴转动相连,所述套块的内侧安装有喷头,所述喷头与转轴相连通,所述转轴的外壁加工有多个水孔。优选的,所述第三轴承、第一轴承和第二轴承均为密封轴承。优选的,所述刮水组件包括卡块、第一弹簧、刮板、横杆、第一横板、套筒、第二弹簧、第一竖杆、顶板和挡板,两个所述挡板分别固接在箱体的上方左右两侧,所述挡板的内部均设有横杆,所述横杆与挡板均间隙配合,所述横杆的内外两侧分别与刮板和套筒固定相连,所述横杆的外壁设有第一弹簧,所述第一弹簧的内外两侧分别与挡板和套筒固定相连,所述套筒的内部设有第一横板,所述第一横板与套筒间隙配合,所述第一横板的上下两侧分别与第一竖杆和卡块固定相连,所述第一竖杆的外壁设有第二弹簧,所述第二弹簧的上下两侧分别与套筒和第一横板固定相连,所述第一竖杆的上端固接有顶板。优选的,所述卡块与箱体之间构成卡合结构。与现有技术相比,本技术的有益效果是:该柱形靶材加工用高效清洗装置,通过电机、靶材、水泵、第一齿轮、第二齿轮、毛刷、箱体、喷头、套块和转轴之间的配合,启动电机和水泵后可将靶材插进箱体的内部进行冲刷清理,解决了现有技术仅采用水洗的方式导致清理效果较差的问题,通过箱体、靶材、刮板、横杆、套筒、第一弹簧、卡块和第二弹簧之间的配合,使在靶材取出之间将刮板贴在靶材表面在将靶材拉出,解决了现有技术清洗后表面的水量过多导致进行烘干时需要的时间较长的问题。附图说明图1为本技术结构示意图。图2为图1中箱体、转轴和第一轴承处的结构示意图。图3为图1中箱体、电机和第一齿轮处的结构示意图。图4为图1中喷头、水孔和第三弹簧处的结构示意图。图中:1、箱体、2、清扫组件,201、第一轴承,202、毛刷,203、第一齿轮,204、电机箱,205、电机,206、第二齿轮,207、第二轴承,208、转轴,3、刮水组件,301、卡块,302、第一弹簧,303、刮板,304、横杆,305、第一横板,306、套筒,307、第二弹簧,308、第一竖杆,309、顶板,310、挡板,4、清洗组件,401、水孔,402、第二竖杆,403、水泵,404、水箱,405、水管,406、套块,407、第三轴承,408、喷头,5、支撑脚,6、第三弹簧,7、靶材,8、第二横板,9、垫块。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4,本技术提供一种技术方案:一种柱形靶材加工用高效清洗装置,包括箱体1和支撑脚5,箱体1的下方前后两端左右两侧均固接有支撑脚5,支撑脚5可对箱体1进行支撑,箱体1的内部安装有清扫组件2,清扫组件2的外侧安装有清洗组件4,箱体1的上方左右两侧安装有刮水组件3,箱体1的内部中心设有靶材7,靶材7可放置在箱体1的中心位置进行处理,靶材7的下方设有第二横板8,第二横板8的下方通过多个第三弹簧6与箱体1活动相连,第三弹簧6的弹性系数K为500N/m,第三弹簧6的内侧上方均设有垫块9,垫块9与第二横板8固定相连,垫块9可保证第三弹簧6只会垂直下落。清扫组件2包括第一轴承201、毛刷202、第一齿轮203、电机箱204、电机205、第二齿轮206、第二轴承207和转轴208,电机箱204位于箱体1的正下方,限制箱体1和电机箱204的相对位置,电机箱204的内部固接有电机205,电机205的型号为BLD-09型,电机205的输出轴与第二齿轮206固定相连,电机205的输出轴可带动第二齿轮206进行转动,第二齿轮206的外侧设有四个第一齿轮203,第一齿轮203与第二齿轮206相互啮合,第二齿轮206可带动第一齿轮203进行转动,第一齿轮203的内部固接有转轴208,第一齿轮203可带动转轴208进行转动,转轴208的外壁上下两侧均通过第一轴承201与箱体1转动相连,箱体1可通过第一轴承201对转轴208进行转动支撑,转轴208的外壁下端与第二轴承207的内壁固定相连,转轴208的外壁固接有多个毛刷202,转轴208可带动毛刷202进行转动。清洗组件4包括水孔401、第二竖杆402、水泵403、水箱404、水管405、套块406、第三轴承407和喷头408,水箱404固接在电机箱204的外壁,电机箱204可对水箱404进行支撑,水箱404的左右两侧均连通有水管405,水管405与外界水箱相连通,水管405的外壁安装有水泵403,水泵403可山西爱你向水箱404的内部注水,第二轴承207的外壁与水箱40本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柱形靶材加工用高效清洗装置,包括箱体(1)和支撑脚(5),所述箱体(1)的下方前后两端左右两侧均固接有支撑脚(5),其特征在于:所述箱体(1)的内部安装有清扫组件(2),所述清扫组件(2)的外侧安装有清洗组件(4),所述箱体(1)的上方左右两侧安装有刮水组件(3),所述箱体(1)的内部中心设有靶材(7),所述靶材(7)的下方设有第二横板(8),所述第二横板(8)的下方通过多个第三弹簧(6)与箱体(1)活动相连,所述第三弹簧(6)的内侧上方均设有垫块(9),所述垫块(9)与第二横板(8)固定相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种柱形靶材加工用高效清洗装置,包括箱体(1)和支撑脚(5),所述箱体(1)的下方前后两端左右两侧均固接有支撑脚(5),其特征在于:所述箱体(1)的内部安装有清扫组件(2),所述清扫组件(2)的外侧安装有清洗组件(4),所述箱体(1)的上方左右两侧安装有刮水组件(3),所述箱体(1)的内部中心设有靶材(7),所述靶材(7)的下方设有第二横板(8),所述第二横板(8)的下方通过多个第三弹簧(6)与箱体(1)活动相连,所述第三弹簧(6)的内侧上方均设有垫块(9),所述垫块(9)与第二横板(8)固定相连。


2.根据权利要求1所述的一种柱形靶材加工用高效清洗装置,其特征在于:所述清扫组件(2)包括第一轴承(201)、毛刷(202)、第一齿轮(203)、电机箱(204)、电机(205)、第二齿轮(206)、第二轴承(207)和转轴(208),所述电机箱(204)位于箱体(1)的正下方,所述电机箱(204)的内部固接有电机(205),所述电机(205)的输出轴与第二齿轮(206)固定相连,所述第二齿轮(206)的外侧设有四个第一齿轮(203),所述第一齿轮(203)与第二齿轮(206)相互啮合,所述第一齿轮(203)的内部固接有转轴(208),所述转轴(208)的外壁上下两侧均通过第一轴承(201)与箱体(1)转动相连,所述转轴(208)的外壁下端与第二轴承(207)的内壁固定相连,所述转轴(208)的外壁固接有多个毛刷(202)。


3.根据权利要求2所述的一种柱形靶材加工用高效清洗装置,其特征在于:所述清洗组件(4)包括水孔(401)、第二竖杆(402)、水泵(403)、水箱(404)、水管(405)、套块(406)、第三轴承(407)和喷头(408),所述水箱(404)固接在电机箱(204)的外壁,所述水箱(404)的左右两侧均连通有水管(405),所述水管(405)的外壁安装有水泵(403),所述第二轴承(207)的外壁与水箱(...

【专利技术属性】
技术研发人员:胥小勇
申请(专利权)人:福建瓦能科技有限公司
类型:新型
国别省市:福建;35

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