控制系统、计算机能够读取的记录介质及控制系统的方法技术方案

本发明专利技术提供了控制系统、计算机能够读取的记录介质及控制系统的方法，其能够高效地进行动作调整作业且安全地调整单元。控制系统(20)具备：控制装置(10)；以及多个终端装置，能够与控制装置(10)连接。控制装置(10)具备：存储装置(110)，储存了处理程序；以及处理装置(120)，根据处理程序而执行运算。处理程序包括以下的指令：以没有将访问对象单元的排他性操作权赋予多个终端装置中的任一个终端装置为条件，对应从多个终端装置中的一个终端装置即对象终端装置发送给控制装置(10)的、调整对象单元对访问对象单元的访问操作权的请求，将访问操作权赋予对象终端装置。

【技术实现步骤摘要】
控制系统、计算机能够读取的记录介质及控制系统的方法
本专利技术涉及对构成半导体制造装置的多个单元进行控制的控制系统、计算机能够读取的记录介质及该控制系统的方法。
技术介绍
半导体制造装置是能够执行包括晶片等基板的研磨、清洗、干燥在内的一系列的处理的复合装置。这样的半导体制造装置由处理单元、搬运单元等各种单元构成。专利文献1：日本特开2005-85784号公报专利文献2：日本特开2015-138786号公报在半导体制造装置的动作调整作业中，公知有为了限定对半导体制造装置的单元进行操作的终端装置，而在终端装置中设定单元的操作权(参照专利文献1和专利文献2)。在这样的半导体制造装置中，针对一个终端装置设定针对处理单元和搬运单元这2个单元的操作权，调整基板的搬运动作。然而，若一个终端装置具有针对处理单元和搬运单元这2个单元的操作权，则其他的作业者无法在所需以上较长的时间进行双方的单元的动作调整。其结果是，存在无法充分地提高半导体制造装置的动作调整作业的效率的问题。为了提高作业效率，在对2个终端装置分配处理单元的操作权和搬运单元的操作权的情况下，例如在处理单元的动作调整中，有可能搬运单元进行用于将基板搬运到处理单元的动作。其结果是，无法排除产生搬运臂的碰撞或作业者的伤害等危险(问题)的可能性。这样的问题并不是限定于半导体制造装置的问题，而是在具备多个单元的其他的复合装置中也会产生的问题。例如，在具备液体供给单元和使用从液体供给单元输送的液体对基板进行处理的基板处理单元的复合装置(例如，电镀装置)中，液体供给单元有可能在未预期的时机(timing)进行对基板处理单元供给液体的动作。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供控制系统，其能够高效地进行动作调整作业，并且安全地调整单元。本专利技术的目的在于提供非暂时性的计算机能够读取的记录介质，该记录介质记录了能够高效地进行动作调整作业且能够安全地调整单元的控制系统的程序。本专利技术的目的在于提供控制系统的方法，能够高效地进行动作调整作业、并且安全地调整单元。在一个方式中，提供了控制系统，其构成半导体制造装置的多个单元进行控制，所述控制系统具备：控制装置；以及多个终端装置，能连接于所述控制装置，所述控制装置具有以下的联锁功能：不允许多个所述终端装置中的任两个终端装置同时操作所述多个单元中的任一个单元，所述多个单元包括：访问对象单元；以及调整对象单元，能访问所述访问对象单元，所述控制装置具备：存储装置，储存了处理程序；以及处理装置，根据所述处理程序执行运算，所述处理程序包括以下的指令：以没有将所述访问对象单元的排他性操作权赋予多个所述终端装置中的任一个终端装置为条件，对应从多个所述终端装置中的一个终端装置即对象终端装置发送给所述控制装置的、所述调整对象单元对所述访问对象单元的访问操作权的请求，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。在一个方式中，所述处理程序包括以下的指令：以将所述调整对象单元的排他性操作权赋予所述对象终端装置为条件，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。在一个方式中，所述多个单元还包括：第1调整对象单元，相当于所述调整对象单元；以及第2调整对象单元，所述处理程序包括以下的指令：以取得了所述第2调整对象单元对所述访问对象单元的访问操作权的其他的终端装置不存在为条件，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。在一个方式中，多个所述终端装置分别具备：图像生成部，生成用于操作所述多个单元的单元操作图像；以及图像显示器，显示所述单元操作图像，所述单元操作图像包括表示是否请求所述访问操作权的访问操作权请求图标。在一个方式中，所述访问操作权请求图标是按钮、复选框和组合框中的任一个，所述图像生成部具备：存储装置，储存了图像显示程序；以及理装置，根据所述图像显示程序而执行运算，所述图像显示程序包括以下的指令：以所述访问操作权的取得为条件，切换所述访问操作权请求图标的显示。在一个方式中，所述单元操作图像包括表示是否请求所述调整对象单元的排他性操作权的排他性操作权请求图标，所述排他性操作权请求图标是按钮、复选框和组合框中的任一个，所述图像显示程序包括以下的指令：以所述排他性操作权的取得为条件，切换所述排他性操作权请求图标的显示。在一个方式中，提供了计算机能够读取的记录介质，其是记录了对构成半导体制造装置的多个单元进行控制的控制系统的处理程序的非暂时性的计算机能够读取的记录介质，所述处理程序使计算机执行以下的处理：从所述控制系统所具备的多个终端装置中的一个终端装置即对象终端装置向控制装置请求所述多个单元所包括的调整对象单元对访问对象单元的访问操作权，以所述访问对象单元的排他性操作权没有向多个所述终端装置中的任一个终端装置赋予为条件，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。在一个方式中，使所述计算机执行以下的处理：以将所述调整对象单元的排他性操作权赋予所述对象终端装置为条件，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。在一个方式中，使所述计算机执行以下的处理：以取得了与相当于所述调整对象单元的第1调整对象单元不同的第2调整对象单元对所述访问对象单元的访问操作权的其他的终端装置不存在为条件，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。在一个方式中，提供了控制系统的方法，对构成半导体制造装置的多个单元进行控制，从所述控制系统所具备的多个终端装置中的一个终端装置即对象终端装置向控制装置请求所述多个单元所包括的调整对象单元对访问对象单元的访问操作权，以没有将所述访问对象单元的排他性操作权赋予多个所述终端装置中的任一个终端装置为条件，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。在一个方式中，以将所述调整对象单元的排他性操作权赋予所述对象终端装置为条件，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。在一个方式中，以取得了与相当于所述调整对象单元的第1调整对象单元不同的第2调整对象单元对所述访问对象单元的访问操作权的其他的终端装置不存在为条件，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。在一个参考例中，提供了控制系统，其对构成半导体制造装置的多个单元进行控制，所述控制系统具备：控制装置；以及多个终端装置，能连接于所述控制装置，所述控制装置具有以下的联锁功能：不允许多个所述终端装置中的任两个终端装置同时操作所述多个单元中的任一个单元，所述多个单元包括：访问对象单元；以及调整对象单元，能访问所述访问对象单元，所述控制装置构成为以没有将所述访问对象单元的排他性操作权赋予多个所述终端装置中的任一个终端装置为条件，对应从多个所述终端装置中的一个终端装置即对象终端装置发送给所述控制装置的、所述调整对象单元对所述访问对象单元的访问操作权的请求，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。在一个参考例中，提供了控制系统，其对构成半导体制造装置的多个单元进行控制，所述控制系统具备：控制装置；以及多个终端装置，能连接于所述控制装置，所述控制装置具有以下的联锁功能：不允许多个所述终端装置中的任两个终端装置同时操作所述多个单元本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种控制系统，对构成半导体制造装置的多个单元进行控制，所述控制系统具备：/n控制装置；以及/n多个终端装置，能连接于所述控制装置，/n所述控制装置具有以下的联锁功能：不允许多个所述终端装置中的任两个终端装置同时操作所述多个单元中的任一个单元，/n所述多个单元包括：/n访问对象单元；以及/n调整对象单元，能访问所述访问对象单元，/n所述控制装置具备：/n存储装置，储存了处理程序；以及/n处理装置，根据所述处理程序执行运算，/n所述处理程序包括以下的指令：以没有将所述访问对象单元的排他性操作权赋予多个所述终端装置中的任一个终端装置为条件，对应从多个所述终端装置中的一个终端装置即对象终端装置发送给所述控制装置的、所述调整对象单元对所述访问对象单元的访问操作权的请求，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。/n

【技术特征摘要】
20190201 JP 2019-0173361.一种控制系统，对构成半导体制造装置的多个单元进行控制，所述控制系统具备：
控制装置；以及
多个终端装置，能连接于所述控制装置，
所述控制装置具有以下的联锁功能：不允许多个所述终端装置中的任两个终端装置同时操作所述多个单元中的任一个单元，
所述多个单元包括：
访问对象单元；以及
调整对象单元，能访问所述访问对象单元，
所述控制装置具备：
存储装置，储存了处理程序；以及
处理装置，根据所述处理程序执行运算，
所述处理程序包括以下的指令：以没有将所述访问对象单元的排他性操作权赋予多个所述终端装置中的任一个终端装置为条件，对应从多个所述终端装置中的一个终端装置即对象终端装置发送给所述控制装置的、所述调整对象单元对所述访问对象单元的访问操作权的请求，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。


2.根据权利请求1所述的控制系统，其中，
所述处理程序包括以下的指令：以将所述调整对象单元的排他性操作权赋予所述对象终端装置为条件，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。


3.根据权利请求1所述的控制系统，其中，
所述多个单元还包括：
第1调整对象单元，相当于所述调整对象单元；以及
第2调整对象单元，
所述处理程序包括以下的指令：以取得了所述第2调整对象单元对所述访问对象单元的访问操作权的其他的终端装置不存在为条件，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。


4.根据权利请求2所述的控制系统，其中，
所述多个单元还包括：
第1调整对象单元，相当于所述调整对象单元；以及
第2调整对象单元，
所述处理程序包括以下的指令：以取得了所述第2调整对象单元对所述访问对象单元的访问操作权的其他的终端装置不存在为条件，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。


5.根据权利请求1至4中任一项所述的控制系统，其中，
多个所述终端装置分别具备：
图像生成部，生成用于操作所述多个单元的单元操作图像；以及
图像显示器，显示所述单元操作图像，
所述单元操作图像包括表示是否请求所述访问操作权的访问操作权请求图标。


6.根据权利请求5所述的控制系统，其中，
所述访问操作权请求图标是按钮、复选框和组合框中的任一个，
所述图像生成部具备：
存储装置，储存了图像显示程序；以及
处理装置，根据所述图像显示程序而执...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤木雅之，清泽信人，北村圭，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP