【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种角速度传感器，该角速度传感器例如用于检测摄像机的运动模糊、用于检测虚拟现实装置中的运动、用于检测汽车导航系统中的方向等。特别地，本专利技术涉及一种用于制造每个都包括悬臂振动器的小型振动陀螺传感器和振动元件的方法
技术介绍
用户角速度传感器即所谓的振动陀螺传感器已经被广泛地使用，在每个中的悬臂振动器以预定的谐振频率振动，并且通过压电元件检测受角速度影响而产生的科里奥利(Coriolis)力，以检测该角速度。该振动陀螺传感器的优点在于机构简单、起动时间短以及制造成本低。例如，将振动陀螺传感器安装在电子装置，如摄像机、虚拟现实装置和汽车导航系统上，以分别检测运动模糊(burring)、操作和方向。通常的振动陀螺传感器包括振动元件，该振动元件通过机械切割适当的压电材料以形成预定的形状而制造。在其上安装振动陀螺传感器的主体装置的尺寸和重量减小，而功能和性能提高的情况下，需要该振动陀螺传感器具有更小的尺寸和更高的性能。然而，由于加工精度的限制，很难制造具有高精度的小型振动元件。因此，近来提出一种包括悬臂振动元件的振动陀螺传感器，该悬臂振动元件通过使用半导体...
【技术保护点】
一种振动陀螺传感器，包括： 支撑衬底，在所述支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案；以及 安装在所述支撑衬底的表面上的振动元件； 其中所述振动元件包括：具有安装表面的基底部分，在所述安装表面上形成多个连接到所述焊接区的终端；以及振动器部件，所述振动器部件以悬臂的方式从所述基底部分的一侧整体地突出，并且具有与所述基底部分的安装表面共面的面向衬底的表面； 所述振动器部件具有按顺序在所述面向衬底的表面上形成的第一电极层、压电层和第二电极层；以及 加强件，在所述振动器部件的基底端形成，以便所述振动器部件的截面面积向着该基底部分逐渐增加。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：稻熊辉往，本多顺一，铃木浩二，高桥和夫，中盐荣治，
申请(专利权)人：索尼株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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