下载用于制造振动陀螺传感器和振动元件的方法的技术资料

文档序号:2521827

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本发明公开了一种振动陀螺传感器包括:支撑衬底,在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案;以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件。该振动元件包括:具有安装表面的基底部分,在该安装表面上形成多个终端;以及振动器部件,在振动器部件以悬臂的方式从...
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