一种石英槽及其制造方法技术

本申请提供了一种石英槽及其制造方法，涉及LED生产制造领域。该石英槽包括石英裸缸和支撑座。支撑座包括第一槽体和支撑壁，第一槽体位于支撑壁的外围。石英裸缸包括遮挡外缘，支撑壁支撑遮挡外缘，遮挡外缘遮挡第一槽体。第一槽体被用于充入密封液。该石英槽的制造方法用于制造上述的石英槽，包括制造石英裸缸，在石英裸缸的外壁贴附加热膜。制造支撑座。将石英裸缸固定在支撑壁上，并从支撑座的底部添加保温岩棉，添加完毕后焊接支撑座的底壁进行密封。该石英槽的遮挡外缘能够防止大量酸液直接进入第一槽体。在第一槽体内充入密封液，使得酸雾溶解在密封液内，防止酸雾进入保温层内。采用该石英槽制造方法，能够方便地制造上述的石英槽。

【技术实现步骤摘要】
一种石英槽及其制造方法
本申请涉及LED生产制造领域，具体而言，涉及一种石英槽及其制造方法。
技术介绍
目前相关技术中的高温石英槽的上部PP外槽与石英内槽的连接处只做了硅胶密封保护。经过长期使用，磷酸酸雾可通过PP外槽与石英内槽的连接夹缝进入保温层内，腐蚀加热膜，损坏槽体，缩短槽体使用寿命。
技术实现思路
本申请实施例的目的在于提供一种石英槽，其旨在改善相关技术中磷酸酸雾可通过PP外槽与石英内槽的连接夹缝进入保温层内，腐蚀加热膜，损坏槽体的问题。本申请实施例提供了一种石英槽，该石英槽包括石英裸缸和支撑座。支撑座包括第一槽体和支撑壁，第一槽体位于支撑壁的外围。石英裸缸包括遮挡外缘，支撑壁支撑遮挡外缘，遮挡外缘遮挡第一槽体。第一槽体被用于充入密封液。该石英槽上设置有第一槽体和遮挡第一槽体的遮挡外缘，遮挡外缘能够防止大量酸液直接进入第一槽体。在第一槽体内充入密封液，使得酸雾溶解在密封液内，防止酸雾进入保温层内，腐蚀加热膜，损坏槽体。作为本申请实施例的一种可选技术方案，支撑座包括第二槽体，第二槽体位于第一槽体的外围，第二槽体的槽壁顶部的高度高于第一槽体的槽壁顶部的高度。通过设置第一槽体，对石英裸缸和支撑座进行液体密封，防止酸雾进入保温层内。在第一槽体的外围设置第二槽体，当第一槽体内的密封液满时，可以溢出到第二槽体，防止第一槽体内的酸性密封液溢出后掉落在其他设备上，腐蚀其他设备。作为本申请实施例的一种可选技术方案，支撑座设有密封液入口和密封液出口。密封液入口与第一槽体连通，密封液出口与第二槽体连通。密封液能够从密封液入口依次经过第一槽体、第二槽体从密封液出口排出。将密封液从密封液入口通入第一槽体内，对石英裸缸和支撑座进行液体密封。当酸雾溶解在密封液中时，密封液逐渐呈酸性，为了防止酸性密封液的酸性过高，腐蚀支撑座，可以不断地通过密封液入口向第一槽体内通入密封液。密封液依次经过第一槽体、第二槽体后从密封液出口排出，使得第二槽体内的密封液不至于酸性过高，不至于腐蚀支撑座。作为本申请实施例的一种可选技术方案，密封液出口的口径大于密封液入口的口径。通过将密封液出口的口径设置为大于密封液入口的口径，保证进液流量比出液流量小，保证第一槽体内的密封液在进行置换时，不发生置换不过来，溢出的现象。作为本申请实施例的一种可选技术方案，石英裸缸包括上缸体和下缸体，上缸体内设置有冷却管支架，冷却管支架用于安装冷却管。传统石英槽的槽盖打开后会有大量高温酸雾溢出，在设备内壁冷凝出现酸滴，使设备内部环境变得极为恶劣，增加设备内部其它器件损坏的风险，增加设备维护的难度，缩短设备使用寿命。本申请实施例中的石英裸缸的上缸体内设置有冷却管支架，便于后续安装冷却管。这样，高温酸雾在石英裸缸的缸盖打开之前，就被冷凝，减少了酸雾的排出。作为本申请实施例的一种可选技术方案，冷却管支架包括多根支撑柱，多根支撑柱与上缸体的内壁连接，且沿上缸体的周向间隔分布。支撑柱上开设有用于固定冷却管的冷却管槽。在上缸体的内壁上设置沿其内壁周向间隔分布的多根支撑柱，并且支撑柱上开设有用于固定冷却管的冷却管槽，便于安装和固定冷却管。作为本申请实施例的一种可选技术方案，石英槽包括自动盖机构和支架，支架支撑自动盖机构。自动盖机构能够封闭或者打开石英裸缸的缸口。传统的石英槽的槽盖是手动打开和关闭的，这种手动盖石英槽不能兼容到自动化产线中。本申请实施例中的自动盖机构，在驱动件的作用下能够实现自动封闭或者打开石英裸缸的缸口，容易兼容到自动化生产线中。作为本申请实施例的一种可选技术方案，自动盖机构包括盖板和驱动件，驱动件用于驱动盖板转动以使盖板打开或关闭石英裸缸的缸口。通过设置驱动件，便于驱动盖板转动，以打开或者关闭石英裸缸的缸口。作为本申请实施例的一种可选技术方案，当驱动件驱动盖板转动时，盖板打开石英裸缸的缸口，盖板遮挡遮挡外缘。传统的石英槽的槽盖在打开时，高温酸液易滴落到外槽PP板上，使PP板出现老化及皲裂的现象，缩短槽体使用寿命。本申请实施例提出的自动盖机构，在打开石英裸缸时，盖板能够遮挡遮挡外缘，有效避免了高温废酸滴落在遮挡外缘上，避免了遮挡外缘被酸液腐蚀。本申请实施例还提供了一种石英槽的制造方法，该石英槽的制造方法用于制造上述任一项中的石英槽，包括制造石英裸缸，在石英裸缸的外壁贴附加热膜。制造支撑座。将石英裸缸固定在支撑壁上，并从支撑座的底部添加保温岩棉，添加完毕后焊接支撑座的底壁进行密封。采用该石英槽制造方法，能够方便地制造上述的石英槽。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本申请实施例提供的石英槽在第一视角下的结构示意图；图2为图1中Ⅱ-Ⅱ位置的剖视图；图3为图2中Ⅲ位置的放大图；图4为本申请实施例提供的石英槽的整体示意图。图标：10-石英槽；100-石英裸缸；110-遮挡外缘；111-第一凸起；112-第二凸起；120-上缸体；121-支撑柱；1211-冷却管槽；130-下缸体；200-支撑座；210-支撑壁；220-第一槽体；221-第一槽体的槽壁；230-第二槽体；231-第二槽体的槽壁；240-密封液入口；241-第一流道；242-第二流道；243-第三流道；250-密封液出口；260-支撑座的底壁；300-自动盖机构；310-盖板；320-驱动件；330-连杆组件；340-转动件；341-第一臂；342-第二臂；343-第三臂；350-支架连接件；400-加热膜；500-保温岩棉。具体实施方式为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本申请实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英槽，其特征在于，所述石英槽包括石英裸缸和支撑座，所述支撑座包括第一槽体和支撑壁，所述第一槽体位于所述支撑壁的外围，所述石英裸缸包括遮挡外缘，所述支撑壁支撑所述遮挡外缘，所述遮挡外缘遮挡所述第一槽体，所述第一槽体被用于充入密封液。/n

【技术特征摘要】
1.一种石英槽，其特征在于，所述石英槽包括石英裸缸和支撑座，所述支撑座包括第一槽体和支撑壁，所述第一槽体位于所述支撑壁的外围，所述石英裸缸包括遮挡外缘，所述支撑壁支撑所述遮挡外缘，所述遮挡外缘遮挡所述第一槽体，所述第一槽体被用于充入密封液。


2.根据权利要求1所述石英槽，其特征在于，所述支撑座包括第二槽体，所述第二槽体位于所述第一槽体的外围，所述第二槽体的槽壁顶部的高度高于所述第一槽体的槽壁顶部的高度。


3.根据权利要求2所述石英槽，其特征在于，所述支撑座设有密封液入口和密封液出口，所述密封液入口与所述第一槽体连通，所述密封液出口与所述第二槽体连通，密封液能够从所述密封液入口依次经过所述第一槽体、所述第二槽体从所述密封液出口排出。


4.根据权利要求3所述石英槽，其特征在于，所述密封液出口的口径大于所述密封液入口的口径。


5.根据权利要求1所述石英槽，其特征在于，所述石英裸缸包括上缸体和下缸体，所述上缸体内设置有冷却管支架，所述冷却管支架用于安装冷却管。

【专利技术属性】
技术研发人员：夏楠君，祝福生，王文丽，王勇威，范文斌，黄鑫亮，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11