一种金属靶材制造技术

本实用新型专利技术公开了一种金属靶材，包括若干金属靶材片，每个所述金属靶材片至少设有一个45度斜边，两个相邻金属靶材片中的其中一个金属靶材片的45度斜边向下设置，另一金属靶材片的45度斜边向上设置在所述向下设置的45度斜边的下方，所述向上设置的45度斜边上设有一垂直该斜边的横向的限位条，所述向下设置的45度斜边上开设有一横向的与所述限位条相匹配的用于插入限位条的限位槽。优点采用45度角的斜边拼接，与现有技术的拼接相比不存在贯穿的缝隙，而且通过限位条和限位槽的设置，能够将相邻的靶材片牢牢固定在一起，能够防止靶材片偏移或者位移，进一步避免产生缝隙。

【技术实现步骤摘要】
一种金属靶材
本技术涉及一种金属靶材，属于靶材

技术介绍
金属靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，为了扩大靶材的尺寸往往都是将若干靶材片拼接在背板上，在拼接时采用的是将若干具有一定厚度的长方形块靶材片边对边拼接到一块，而这种拼接方式会有缝隙，背板被击穿的风险大，如果背板被击穿，会有渗水的问题，从而影响溅射效率。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种金属靶材。为解决上述技术问题，本技术提供一种金属靶材，包括若干金属靶材片，每个所述金属靶材片至少设有一个45度斜边，两个相邻金属靶材片中的其中一个金属靶材片的45度斜边向下设置，另一金属靶材片的45度斜边向上设置在所述向下设置的45度斜边的下方，所述向上设置的45度斜边上设有一垂直该斜边的横向的限位条，所述向下设置的45度斜边上开设有一横向的与所述限位条相匹配的用于插入限位条的限位槽。进一步的，所述金属靶材片有两个，分别为第一金属靶材片和第二金属靶材片，第一金属靶材片的一边设有45度倾斜向下的斜边，第二金属靶材片的其中一边设有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金属靶材，其特征在于，包括若干金属靶材片，每个所述金属靶材片至少设有一个45度斜边，两个相邻金属靶材片中的其中一个金属靶材片的45度斜边向下设置，另一金属靶材片的45度斜边向上设置在所述向下设置的45度斜边的下方，所述向上设置的45度斜边上设有一垂直该斜边的横向的限位条，所述向下设置的45度斜边上开设有一横向的与所述限位条相匹配的用于插入限位条的限位槽。/n

【技术特征摘要】
1.一种金属靶材，其特征在于，包括若干金属靶材片，每个所述金属靶材片至少设有一个45度斜边，两个相邻金属靶材片中的其中一个金属靶材片的45度斜边向下设置，另一金属靶材片的45度斜边向上设置在所述向下设置的45度斜边的下方，所述向上设置的45度斜边上设有一垂直该斜边的横向的限位条，所述向下设置的45度斜边上开设有一横向的与所述限位条相匹配的用于插入限位条的限位槽。


2.根据权利要求1所述的金属靶材，其特征在于，所述金属靶材片有两个，分别为第一金属靶材片和第二金属靶材片，第一金属靶材片的一边设有45度倾斜向下的斜边，第二金属靶...

【专利技术属性】
技术研发人员：周其刚，李宪民，
申请(专利权)人：南京欧美达应用材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32