真空镀膜设备上的抽拉式离子源机构及真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术属于真空镀膜的技术领域，尤其涉及真空镀膜设备上的抽拉式离子源机构。包括设于真空镀膜设备上的离子源安装架、安装在所述离子源安装架内的离子源，所述离子源从所述离子源安装架的一端插入安装至离子源安装架内且可从离子源安装架中抽出拆卸。通过将离子源改为抽拉式的安装在离子源架上，变为可拆卸式连接，主要是解决了离子源维修时，需要开启真空室，大拆大装，降低设备寿命和性能的问题。采用抽拉式结构，将离子源单独剥离出来，形成一个独立的单元。当需要维修或者更换元器件，特别是检查小毛病时，不至于有较大的拆装动作。能够更加快速高效的解决生产维护问题，缩短设备维护时间。

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜设备上的抽拉式离子源机构及真空镀膜设备
本技术属于真空镀膜的
，尤其涉及真空镀膜设备上的抽拉式离子源机构。
技术介绍
离子源的应用十分广泛,在离子源镀膜的应用中，粒子被电离后,粒子的动能可控,其化学活性大为提高,从而可利用来实现镀膜的功能,离子源是产生离子的装置。目前离子源设计本着结构稳定的特点多为固定式结构，但是它有着难以维修，拆卸任务繁重的问题。
技术实现思路
为解决现有技术中真空镀膜设备上冷却系统多为独立系统，无法对应空间紧凑安装的问题，本技术提供了真空镀膜设备上的抽拉式离子源机构。本技术是通过以下技术方案实现的：真空镀膜设备上的抽拉式离子源机构，包括设于真空镀膜设备上的离子源安装架、安装在所述离子源安装架内的离子源，所述离子源从所述离子源安装架的一端插入安装至离子源安装架内且可从离子源安装架中抽出拆卸。如上所述的真空镀膜设备上的抽拉式离子源机构，所述离子源安装架上设有滑轨，所述离子源上设有与所述滑轨配合的滑轮组件。如上所述的真空镀膜设备上的抽拉式离子源本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.真空镀膜设备上的抽拉式离子源机构，其特征在于，包括设于真空镀膜设备上的离子源安装架(9)、安装在所述离子源安装架(9)内的离子源(91)，所述离子源(91)从所述离子源安装架(9)的一端插入安装至离子源安装架(9)内且可从离子源安装架(9)中抽出拆卸。/n

【技术特征摘要】
1.真空镀膜设备上的抽拉式离子源机构，其特征在于，包括设于真空镀膜设备上的离子源安装架(9)、安装在所述离子源安装架(9)内的离子源(91)，所述离子源(91)从所述离子源安装架(9)的一端插入安装至离子源安装架(9)内且可从离子源安装架(9)中抽出拆卸。


2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备上的抽拉式离子源机构，其特征在于，所述离子源安装架(9)上设有滑轨(901)，所述离子源(91)上设有与所述滑轨配合的滑轮组件(92)。


3.根据权利要求2所述的真空镀膜设备上的抽拉式离子源机构，其特征在于，所述离子源(91)的两侧上设有多个间隔排布的所述滑轮组件(92)。


4.根据权利要求2所述的真空镀膜设备上的抽拉式离子源机构，其特征在于，所述滑轮组件(92)包括固定安装在离子源(91)侧面上的安装板(921)、设于安装板(921)上的滚轮轴(922)、设于滚轮轴(922)上的滚轮(923)，且所述滚轮(923)通过轴承(924)套接在滚轮轴(922)上，所述滚轮轴(922)上还设有弹性挡圈(925)。


5.根据权利要求1所述的真空镀膜设备上的抽拉式离子源机构，其特征在于，所述离子源(91)的前端连接有前端板(93)，所述前端板(93)上设有可与真空镀膜设备或离子源安装架(9)卡锁的锁定结构。


6.根据权利要求5所述的真空镀膜设备上的抽拉式离子源...

【专利技术属性】
技术研发人员：高文波，李小彭，
申请(专利权)人：广东生波尔光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44