温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型属于真空镀膜的技术领域，尤其涉及真空镀膜设备上的抽拉式离子源机构。包括设于真空镀膜设备上的离子源安装架、安装在所述离子源安装架内的离子源，所述离子源从所述离子源安装架的一端插入安装至离子源安装架内且可从离子源安装架中抽出拆卸。通过...
该专利属于广东生波尔光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东生波尔光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。