应用于真空镀膜设备中的冷却辊机构制造技术

本实用新型专利技术属于真空镀膜的技术领域，尤其涉及应用于真空镀膜设备中的冷却辊机构。包括冷却辊、驱动冷却辊转动的驱动机构以及冷却结构，利用内胆将冷却辊的内部分隔成冷却通道与出水通道，从冷却液管道流入的冷却液沿冷却通道流动的同时，与冷却辊内壁接触，从而带走冷却辊的温度，而最终从内胆内的出水通道流出，在冷却辊内部形成冷却循环水路，且进出水分别为两个通路互不干扰，保证在冷却辊转动时冷却水循环不受影响。

【技术实现步骤摘要】
应用于真空镀膜设备中的冷却辊机构
本技术属于真空镀膜的
，尤其涉及应用于真空镀膜设备中的冷却辊机构。
技术介绍
真空镀膜时，因离子源释放能量，致使基材温度升高。现有液通过冷却系统对于基材传输过程中的辊进行冷却从而降低基材温度，达到冷却降温的效果。现有真空镀膜设备上的冷却路线一般为独立的系统结构，根据不同产品要求，多为水管衔接，此种冷却结构适合空间没有限制，且结构不是很复杂的情况，应对空间紧凑、安装要求极高的复杂环境就显得力有不逮。
技术实现思路
为解决现有技术中真空镀膜设备上冷却系统多为独立系统，无法对应空间紧凑安装的问题，本技术提供了应用于真空镀膜设备中的冷却辊机构。本技术是通过以下技术方案实现的：应用于真空镀膜设备中的冷却辊机构，包括设于真空镀膜设备上且与基材表面接触的冷却辊、驱动冷却辊转动的驱动机构以及冷却结构，所述冷却结构包括设于所述冷却辊内的内胆、链接在冷却辊一侧且与冷却辊内部联通的冷却液管道，所述冷却液管道上设有进水口和出水口，且所述内胆从冷却辊内沿冷却液管道延伸至与出水本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.应用于真空镀膜设备中的冷却辊机构，其特征在于，包括设于真空镀膜设备上且与基材表面接触的冷却辊(1)、驱动冷却辊(1)转动的驱动机构(2)以及冷却结构，所述冷却结构包括设于所述冷却辊(1)内的内胆(3)、链接在冷却辊(1)一侧且与冷却辊(1)内部联通的冷却液管道(31)，所述冷却液管道(31)上设有进水口(32)和出水口(33)，且所述内胆(3)从冷却辊(1)内沿冷却液管道(31)延伸至与出水口(33)相对，且所述内胆(3)内部为出水通道(301)、所述内胆(3)外周与冷却辊(1)内壁之间的间隙形成与冷却液管道(31)联通的冷却通道(311)，且所述内胆(3)上设有联通所述冷却通道(311)...

【技术特征摘要】
1.应用于真空镀膜设备中的冷却辊机构，其特征在于，包括设于真空镀膜设备上且与基材表面接触的冷却辊(1)、驱动冷却辊(1)转动的驱动机构(2)以及冷却结构，所述冷却结构包括设于所述冷却辊(1)内的内胆(3)、链接在冷却辊(1)一侧且与冷却辊(1)内部联通的冷却液管道(31)，所述冷却液管道(31)上设有进水口(32)和出水口(33)，且所述内胆(3)从冷却辊(1)内沿冷却液管道(31)延伸至与出水口(33)相对，且所述内胆(3)内部为出水通道(301)、所述内胆(3)外周与冷却辊(1)内壁之间的间隙形成与冷却液管道(31)联通的冷却通道(311)，且所述内胆(3)上设有联通所述冷却通道(311)与出水通道(301)的通道口(302)。


2.根据权利要求1所述的应用于真空镀膜设备中的冷却辊机构，其特征在于，所述冷却辊(1)上还设有温度传感器。


3.根据权利要求1所述的应用于真空镀膜设备中的冷却辊机构，其特征在于，所述内胆(3)为回转体，且与所述冷却辊(1)同心设置可随所述冷却辊(1)转动。

【专利技术属性】
技术研发人员：高文波，李小彭，
申请(专利权)人：广东生波尔光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44