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本实用新型属于真空镀膜的技术领域,尤其涉及应用于真空镀膜设备中的冷却辊机构。包括冷却辊、驱动冷却辊转动的驱动机构以及冷却结构,利用内胆将冷却辊的内部分隔成冷却通道与出水通道,从冷却液管道流入的冷却液沿冷却通道流动的同时,与冷却辊内壁接触,从...该专利属于广东生波尔光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东生波尔光电技术有限公司授权不得商用。
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本实用新型属于真空镀膜的技术领域,尤其涉及应用于真空镀膜设备中的冷却辊机构。包括冷却辊、驱动冷却辊转动的驱动机构以及冷却结构,利用内胆将冷却辊的内部分隔成冷却通道与出水通道,从冷却液管道流入的冷却液沿冷却通道流动的同时,与冷却辊内壁接触,从...