复色超分辨差动共焦测量大线性量程数据融合方法技术

复色超分辨差动共焦测量大线性量程数据融合方法属于超精密三维微结构表面测量领域；该方法首先利用式１和式２分别计算得到第一和第二超分辨差动共焦测量支路的输出信息，其中式３分别是采用复色超分辨差动共焦测量装置获取的第一和第二测量支路的实际输出光强信息，（式１、２、３见右上）然后截取Γ↓［１］和Γ↓［２］得到有效输出Γ↓［１］和Γ↓［２］，最后构造系统线性输出融合函数：见式４作为系统最终位移响应输出，其中Γ↓［Ｂ′］为平移因子，λ↓［１］和λ↓［２］是第一和第二测量支路波长；该方法保留了复色超分辨差动共焦测量高空间分辨力、抑制共模加性噪声和线性量程扩展的优点，同时可以抑制乘性噪声干扰，获得线性程度更好、线性测量范围更大的输出特性曲线。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于超精密三维微结构表面测量领域，主要涉及一种复色超分辨差动 共焦测量大线性量程数据融合方法，可适用于微光机电元器件三维微细结构特征 的超精密非接触测量。
技术介绍
共焦测量技术最早是由M. Minsky于1957年提出，并于1961年获得了美国 专利，专利号US3013467，其基本技术思想是通过引入针孔探测器抑制杂散光， 并产生了轴向层析能力，该技术的不足之处在于，轴向响应信号在测量面准焦区 域附近测量灵敏度不高，因此只适用于离焦位移测量。非传统的共焦测量技术，如双光子荧光显微技术、单光子荧光显微技术和 4PI荧光共焦显微技术基本技术特征是利用照明光束作用，样品吸收一个入射光 子，产生荧光辐射，实现三维成像，此类技术适用于具有荧光特性的物质；激光 干涉共焦显微技术是利用双频激光技术和共焦扫描测量技术相结合，采用相位测 量技术实现长度测量，此类技术对激光频率稳定性要求很高，而且测量范围相对较小；e共焦显微技术是一种基于扫描测量原理的测量技术，可以提高测量效率，但是测量精度相对较低；彩色共焦测量方法采用宽光谱非相干光进行照明，采用 传统共焦结构，通过分析探测信号光谱变化实本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种复色超分辨差动共焦测量大线性量程数据融合方法，其特征在于该方法分三个步骤：　①利用Γ↓［１］＝（Ｉ↓［１２］′－Ｉ↓［１１］′）／（Ｉ↓［１２］′＋Ｉ↓［１１］′）和Γ↓［２］＝（Ｉ↓［２１］′－Ｉ↓［２２］′）／（Ｉ↓［２１］′＋Ｉ↓［２２］′）分别计算得到第一和第二超分辨差动共焦测量支路的输出信息，其中Ｉ↓［１１］′和Ｉ↓［１２］′分别是采用复色超分辨差动共焦测量装置第一超分辨差动共焦测量支路的第一和第二光电探测器获取的实际输出光强信息，Ｉ↓［２１］′和Ｉ↓［２２］′分别是第二超分辨差动共焦测量支路的第四和第三光电探测器获取的实际输出光强信息；　②截取Γ↓［１］和Γ↓［２］得到有效输出...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘俭，谭久彬，刘涛，王伟波，王宇航，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：93[中国|哈尔滨]