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复色超分辨差动共焦测量大线性量程数据融合方法属于超精密三维微结构表面测量领域；该方法首先利用式１和式２分别计算得到第一和第二超分辨差动共焦测量支路的输出信息，其中式３分别是采用复色超分辨差动共焦测量装置获取的第一和第二测量支路的实际输出光强...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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