本发明专利技术提供一种同轴度检测装置，用于两个内孔之间的同轴度检测，支撑机构、旋转机构、定位机构以及检测机构，其中，所述定位机构的旋转中心轴相对于被检测零件一的圆形内孔面的中心轴相同，所述检测机构与所述定位机构在旋转时具有相同的旋转中心轴。因此，该同轴度检测装置所检测的同轴度直接是被测第一孔与被测第二孔的同轴度。该同轴度检测装置具有检测精度高的特点，并能实现大尺寸孔径、距离远之间的孔的同轴度高精度在线检测。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种同轴度检测装置，具体涉及一种用于两个被测零件的圆 形内孔轴线之间的同轴度检测装置。
技术介绍
在光刻机整机机械系统集成过程中，有一些部件的集成精度指标提出了 孔与孔之间的同轴度精度要求，例如主基板中心孔与吊框中心孔的同轴度精度指标在20um 30um之间。通常，这些孔的特点为孔径大，相距远，精度 要求高。由于需要装配在线检测，而且零部件尺寸与质量相当大、零部件所 装备的设备不可搬动，因此无法在线使用三坐标等高精度检测设备，这就需 要一种专用的装配检测装置来实现同轴度检测。授权公告号为CN 2624177Y的技术专利公开了一种平行平面孔的同 轴度检测仪，该同轴度检测仪包括定位爪、转盘，夹紧轮，定尺，基体，端 盖，游标尺，转轴，调心轴承和测杆。该平行平面孔的同轴度检测仪通过定 位爪、转盘、夹紧轮组成定位机构，测杆安装在转轴上，利用调心轴承旋转 来检测另一孔与基准孔的同轴度。由于测杆的旋转中心为调心轴承旋转中心， 而调心轴承旋转中心与定位机构的定位面中心因制造精度等原因不可能完全 重合，因此，测杆所测得的数值实际为被检测孔与调心轴承旋转中心的同轴 度。而基准孔与被测孔的同轴度应该为测杆所测得的实测数值加上调心轴承旋转中心与定位机构的定位面中心的同轴度误差。由于，调心轴承旋转中心与定位机构的定位面中心的同轴度误差的存在， 所以这种平行平面孔的同轴度检测仪不适用于高精度的同轴度检测，并且对 调心轴承的制造精度要求高。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是为实现孔径尺寸大、精度高、间隔距离远 的两个圆形内孔轴线之间的同轴度在线检测，提供一种同轴度检测装置。为解决上述技术问题，本专利技术提供的同轴度检测装置，包括支撑机构、 位于支撑机构的支撑平面上的旋转机构、与旋转机构连接的定位机构以及与 定位机构连接的检测机构；同轴度检测装置的特征在于，定位机构、检测机 构在与旋转机构同步旋转时，定位机构的旋转中心轴相对于被检测零件一的 圓形内孔的轴线相同，所述检测机构与所述定位机构在旋转时具有相同的旋 转中心轴。根据本专利技术提供的同轴度检测装置，其中，所述支撑机构包括支撑板、 第一螺母、三个或者三个以上置于所述零件一之上的可调支撑座，所述支撑板 上表面形成支撑机构的支撑平面，通过调节第 一螺母和可调支撑座来调节支 撑机构的支撑平面。根据本专利技术提供的同轴度检测装置，其中，所述旋转机构包括第二螺母、 三个或者三个以上置于所述支撑平面上的钢珠滚轮、以及置于所述钢珠滚轮 上的旋转板。根据本专利技术提供的同轴度检测装置，其中，所述定位机构包括与所述旋 转机构连接的连接主轴、与所述连接主轴固定连接的第一连接杆、与所述第一连接杆连接的第二连接杆、三个或三个以上置于所述连接主轴上的滑板、 用于定位固定滑板的螺钉以及置于滑板上的滚轮。每个滑板上具有两个形状结构相同的平行于所述零件一的圆形内孔轴线方向布置的滚轮；连接主轴具 有与滑板数量相等的悬臂，滑板安装在悬臂之上，滑板相对悬臂位置可调； 第一连接杆的第一端通过螺紋实现与连接主轴固定连接，第二连接杆螺紋连 接于第 一连接杆的第二端，通过第二连接杆与第 一连接杆之间的螺紋调节， 可以实现第二连接杆的伸出长度的调节；通过第二螺母与连接主轴之间的螺 紋连接，实现所述定位机构和所述旋转机构的固定连接。根据本专利技术提供的同轴度检测装置，其中，所述检测机构包括固定连接 于定位装置的第二连接杆的连接装置、与连接装置连接的杠杆表支架、以及 固定置于杠杆表支架末端的杠杆表。其中，所述连接装置包括置于第二连接 杆上的连接环、置于连接环上连接套筒、销轴、以及用于实现第二连接杆、 连接环连、连接套筒、销轴四个之间同时锁紧固定的锁紧扳手。其中，在检 测机构旋转时，杠杆表用来测量被测零件二的圓形内孔面与检测机构旋转中 心轴的距离变化。本专利技术的技术效果是，被测零件一作为基准零件，通过定位机构实现其 相对于被检测零件一的圓形内孔面中心的定位，调节滑板，使滑板上的滚轮 均与零件一的圆形内孔面接触，最终实现定位机构的旋转中心轴相对于被检 测零件一的圆形内孔面的中心轴相同；通过旋转机构带动定位机构和检测机构同步旋转，因此检测机构与定位机构在旋转时具有相同的旋转中心轴，检 测机构机构上的杠杆表所检测的同轴度直接是被测零件一的内圆柱孔与被测 零件二的圆形内孔之间的同轴度。因此，该同轴度检测装置具有检测精度高 的特点。同时，定位机构中滑板相对悬臂位置可调，所述第一连接杆和第二连接杆的长度较长，并可以实现第二连接到长度调接，检测机构中的杠杆表 支架的尺寸长度可以根据检测的孔的直径选择，因此实现大尺寸孔径、距离 远之间的孔的同轴度高精度在线检测。附图说明图l是本专利技术实施例同轴度检测装置的轴侧示意图2是本专利技术实施例同轴度检测装置的支撑积i构轴测示意图3是本专利技术实施例同轴度检测装置的旋转机构轴测示意图4是本专利技术实施例同轴度检测装置的定位机构轴测示意图5是本专利技术实施例同轴度检测装置的检测^J的主视图和俯视图6是本实施例同轴度检测装置的调试状态的主视图7是本实施例同轴度检测装置的使用状态的主视图和俯视图。符号i兌明l第二螺母 2旋转板 3钢珠滚轮 4滑板 5螺钉6滚轮 7支撑板 8连接主轴 9第一连接杆IO第二连接杆11销轴 12连接套筒 13锁紧扳手 14连接环 15杠杆表支架 16杠杆表 17第一螺母 18可调支撑座1001零件一 1002零件二 1003标准圓环 061滚轮球面 70支撑板上表面 081连接主轴悬臂 161杠杆表探头球面 10011零件一孔基准面 10012零件一上表面10021零件二孔基准面 10031标准圓环孔基准面 10032标准圓环上基准面 181可调支撑下表面具体实施方式为4吏本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本专利技术 作进一步的详细描述。图1所示为本专利技术实施例同轴度检测装置的轴侧示意图。整个同轴度检 测装置包括支撑机构、旋转机构、定位机构以及与定位机构以及检测机构四 个部分。图2是本实施例同轴度检测装置的支撑机构轴测示意图。结合图1和图2 所示，支撑机构包括支撑板7、三个第一螺母17、三个置于所述工件之上的 支撑座18，其中支撑板上表面70定义为支撑平面，支撑板上表面70平面度 在0. 5um~ 5um范围内；通过调节第一螺母17和支撑座18的高度可以实现调 节，从而调节支撑板的上表面70。图3所示是本实施例同轴度检测装置的旋转机构轴测示意图。结合图1 和图3所示，旋转机构位于支撑机构的支撑平面上，旋转机构包括第二螺母1、 三个置于支撑板上表面70上的钢珠滚轮3以及置于所述钢珠滚轮上的旋转板 2，通过钢珠滚轮3在支撑机构的支撑平面上的滚动，实现旋转机构作圆周旋转。图4所示是本实施例同轴度检测装置的定位机构轴测示意图。结合图1 和图4所示，定位机构包括通过第二螺母1与所述旋转机构固定连接的连接 主轴8、与所述连接主轴8固定连接的第一连接杆9、与所述第一连接杆连接 的第二连接杆10、置于所述连接主轴上的三个滑板4、用于定位固定滑板的 六个螺钉5以及置于滑板上六个的滚轮6;每个滚轮6的形状结构相同，每个 滑板4上的两个滚轮平行于被测零件一的圆形内孔轴线方向布置；连接主轴8 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种同轴度检测装置，用于两个被检测零件的圆形内孔轴线之间的同轴度检测，包括支撑机构、位于支撑机构的支撑平面上的旋转机构、与旋转机构连接的定位机构以及与定位机构连接的检测机构，其特征在于，所述定位机构的旋转中心轴相对于被检测零件一的圆形内孔的轴线相同，所述检测机构与所述定位机构在旋转时具有相同的旋转中心轴。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈慧，袁志扬，严天宏，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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