差动变压器的信号处理装置及信号处理方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种差动变压器的信号处理装置，在具有工作变压器的测定装置中包括：高频振荡器，产生比差动放大器的激励频率高的频率的高频信号；分频器，用于将所述高频信号分频后作为差动变压器的驱动信号；倍增器或者分频器，用于使所述高频信号的频率仅降低驱动信号的频率部分；混频器，将倍增器或者分频器的输出施加到差动变压器的输出上；高通滤波器或者带通滤波器，从所述混频器的输出中截止低频分量；以及通过所述高频信号对所述高通滤波器或者带通滤波器的输出进行同步检波的双平衡混频器。由此，利用激励频率低的目前的磁头，得到响应速度快的输出信号。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种从激励频率被设定得较低的差动放大器中得到响应速度快的测定信号的。特别是涉及一种，该装置利用适用于分辨率1nm等级的高分辨率的电子测微计中的激励频率为5kHz左右的以往的磁头(head)，可以得到从10倍到100倍(从200Hz到2kHz)的响应速度的测定信号。
技术介绍
以往的电子测微计如特开2002-340505号公报中记载的那样，如图1所示，利用包含对构成磁头20的主轴22的位移进行传导的磁芯26和相对于该磁芯26的机械的中心位置(称为中性点)对称设置的相互串联连接的传感器线圈28、30的差动变压器，利用磁芯26的位置产生的传感器线圈28、30的阻抗的变化，根据在从外部的振荡器32向传感器线圈28、30施加电压时，在各传感器线圈28、30的两端产生的、如图2所示的电压E1、E2的差(E1-E2)的磁芯26的位置的变化，检测主轴22的位移。具体来说，如图3所示，在将振荡器32产生的例如频率5kHz的正弦波状的驱动信号经由驱动放大器34施加到磁头(支架(cartridge)磁头或者杠杆(lever)磁头)20的传感器线圈28、30(省略图示)，将从前述传感器线圈本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种差动变压器的信号处理装置，用于从激励频率被设定得较低的差动变压器中得到响应速度快的测定信号，其特征在于，该装置包括：　　　　高频振荡器，产生频率比差动放大器的激励频率高的高频信号；　　　　分频器，用于将所述高频信号分频后作为差动变压器的驱动信号；　　　　频率降低部件，用于使所述高频振荡的频率仅降低驱动信号的频率部分；　　　　混频器，将所述频率降低部件的输出施加到差动变压器的输出上；　　　　高通滤波器或者带通滤波器，从所述混频器的输出中截止低频分量；以及　　　　通过所述高频信号对所述高通滤波器或者带通滤波器的输出进行同步检波的部件。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：堀川俊朗，
申请(专利权)人：三丰株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]