高速探针卡装置及其矩形探针制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种高速探针卡装置及其矩形探针，矩形探针定义有长度方向且外表面包含平行长度方向的两宽侧面与两窄侧面。矩形探针包含中间段、相连于中间段两端第一连接段与第二连接段、分别相连于第一连接段与第二连接段的第一接触段与第二接触段及行程结构。行程结构形成于中间段、第一接触段及第二接触段的至少其一，并包含：纵向穿孔及两横向沟槽。纵向穿孔贯穿两宽侧面且平行于长度方向。两横向沟槽分别凹设于两宽侧面、并自纵向穿孔分别延伸至两窄侧面。两横向沟槽能分别朝彼此远离的方向移动，以缩短矩形探针的长度并续有回弹力。

【技术实现步骤摘要】
高速探针卡装置及其矩形探针
本专利技术涉及一种探针卡，尤其涉及一种高速探针卡装置及其矩形探针。
技术介绍
半导体芯片进行测试时，测试设备是通过一探针卡装置而与待测物电性连接，并通过信号传输及信号分析，以获得待测物的测试结果。现有的探针卡装置设有对应待测物的电性接点而排列的多个探针，以通过上述多个探针同时点接触待测物的相对应电性接点。然而，现有探针卡装置在面临高速信号传输的相关测试时，现有探针卡装置的多个探针需在进行测试前就先变形来蓄有回弹力，所以现有探针的长度较长，因而不利于高速信号的传输。于是，本专利技术人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本专利技术。
技术实现思路
本专利技术实施例在于提供一种高速探针卡装置及其矩形探针，能有效地改善现有探针卡装置所可能产生的缺陷。本专利技术实施例公开一种高速探针卡装置，包括一上导板、一下导板及多个矩形探针。上导板形成有多个上开孔；下导板形成有多个下开孔，所述下导板平行于所述上导板，并且多个所述下开孔的位置分别对应于多个所述上开孔的位置；多个矩形探针，分别穿设于所述上导板的多个所述上开孔、并分别穿过所述下导板的多个所述下开孔；其中，每个所述矩形探针呈长形并定义有一长度方向，每个所述矩形探针的一外表面包含有平行于所述长度方向的两个宽侧面与两个窄侧面，并且每个所述矩形探针包含一中间段、一第一连接段、一第二连接段、一第一接触段、一第二接触段及至少一行程结构。中间段位于所述上导板与所述下导板之间；一第一连接段自所述中间段一端延伸所形成并穿设于相对应的所述上开孔内；一第二连接段，自所述中间段另一端延伸所形成并穿设于相对应的所述下开孔内；一第一接触段，自所述第一连接段延伸所形成且穿出相对应的所述上开孔；一第二接触段，自所述第二连接段延伸所形成且穿出相对应的所述下开孔；至少一行程结构，形成于所述中间段、所述第一接触段及所述第二接触段的至少其中之一，并且至少一所述行程结构包含有一纵向穿孔、两个横向沟槽。纵向穿孔贯穿两个所述宽侧面且平行于所述长度方向；两个横向沟槽，分别凹设于两个所述宽侧面、并分别位于所述纵向穿孔的两侧，并且两个所述横向沟槽自所述纵向穿孔分别延伸至两个所述窄侧面；其中，两个所述横向沟槽位于垂直所述长度方向的一平面上；其中，当所述高速探针卡装置的多个所述矩形探针压抵于一待测物时，每个所述矩形探针的至少一所述行程结构的两个所述横向沟槽分别朝彼此远离的方向移动，以使每个所述矩形探针形成有至少一所述行程结构的一部位在所述长度方向上的长度缩短、并续有一回弹力。优选地，于至少一所述行程结构中，每个所述横向沟槽的深度不大于所述矩形探针的厚度的50％，并且每个所述横向沟槽连通于所述纵向穿孔的中央部位。优选地，于至少一所述行程结构中，所述纵向穿孔的长度至少为所述纵向穿孔的宽度的两倍，所述纵向穿孔的所述宽度不大于任一个所述宽侧面的宽度的30％。优选地，于每个所述矩形探针中，至少一所述行程结构的数量进一步限定为多个，并且多个所述行程结构是沿所述长度方向间隔地形成于所述中间段上。优选地，于每个所述矩形探针的彼此相邻两个所述行程结构中，位于相同所述宽侧面但分属于不同所述行程结构的两个所述横向沟槽分别连通于两个所述窄侧面。优选地，每个所述矩形探针包含有一绝缘层；于每个所述矩形探针中，所述绝缘层包覆于形成有至少一所述行程结构的所述部位。优选地，所述上导板及所述下导板未有相对错位设置，每个所述矩形探针呈直线状并定位于所述上导板及所述下导板的至少其中之一，多个所述下开孔的位置分别沿所述长度方向对应于多个所述上开孔的位置；每个所述矩形探针的长度介于2～6.5毫米(mm)。优选地，每个所述矩形探针的所述第一连接段及邻近所述第一连接段的所述中间段部位的至少其中之一形成有一固持结构，并且每个所述矩形探针是以所述固持结构定位于所述上导板。优选地，所述高速探针卡装置进一步包括：一间隔板，夹持于所述上导板与所述下导板之间，并且所述间隔板形成有连通于多个所述上开孔与多个所述下开孔的一容置空间；一转接板，固定于多个所述矩形探针的所述第一接触段，每个所述矩形探针定位于邻近所述转接板的所述上导板；其中，多个所述矩形探针的所述第二接触段是用来压抵于所述待测物。本专利技术实施例也公开一种矩形探针，呈长形并定义有一长度方向，并且所述矩形探针的一外表面包含有平行于所述长度方向的两个宽侧面与两个窄侧面，所述矩形探针包括一中间段、一第一连接段与一第二连接段、一第一接触段、一第二接触段及至少一行程结构。一第一连接段与一第二连接段分别自所述中间段的相反两端延伸所形成；一第一接触段，自所述第一连接段朝远离所述中间段方向延伸所形成；一第二接触段，自所述第二连接段朝远离所述中间段方向延伸所形成；至少一行程结构，形成于所述中间段、所述第一接触段及所述第二接触段的至少其中之一，并且至少一所述行程结构包含有一纵向穿孔及两个横向沟槽。纵向穿孔贯穿两个所述宽侧面且平行于所述长度方向；两个横向沟槽，分别凹设于两个所述宽侧面、并分别位于所述纵向穿孔的两侧，并且两个所述横向沟槽自所述纵向穿孔分别延伸至两个所述窄侧面；其中，两个所述横向沟槽位于垂直所述长度方向的一平面上；其中，当所述矩形探针压抵于一待测物时，至少一所述行程结构的两个所述横向沟槽分别朝彼此远离的方向移动，以使所述矩形探针形成有至少一所述行程结构的一部位在所述长度方向上的长度缩短、并续有一回弹力。综上所述，本专利技术实施例所公开的高速探针卡装置，其通过在矩形探针上设有行程结构来蓄有回弹力，并使得矩形探针不必在压抵于待测物之前就需形成有弯曲状的弹力部，所以矩形探针的长度相较于现有导电探针的长度来说，可以明显地缩短，据以使所述高速探针卡装置及其矩形探针能够利于高速信号的传输。为能更进一步了解本专利技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本专利技术，而非对本专利技术的保护范围作任何的限制。附图说明图1为本专利技术实施例一的高速探针卡装置的剖视示意图。图2为本专利技术实施例一的矩形探针的立体示意图。图3A为本专利技术实施例一的高速探针卡装置的另一方式剖视示意图。图3B为本专利技术实施例一的高速探针卡装置的又一方式剖视示意图。图4为本专利技术实施例一的矩形探针于受力时的立体示意图。图5为图4的侧视示意图。图6为图2的中间段在设有行程结构的位形成绝缘层的立体示意图。图7为本专利技术实施例二的高速探针卡装置的剖视示意图。图8为本专利技术实施例二的矩形探针的立体示意图。图9为本专利技术实施例二的矩形探针于受力时的立体示意图。图10为本专利技术实施例三的高速探针卡装置的剖视示意图(一)。图11为本专利技术实施例三的高速探针卡装置的剖视示意图(二)。具体实施方式请参阅图1至图11所示，其为本专利技术的实施例，需先说明的是，本实施例对应附图所提及的相关数量与外型，仅用来具体地说明本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高速探针卡装置，其特征在于，所述高速探针卡装置包括：/n一上导板，形成有多个上开孔；/n一下导板，形成有多个下开孔，所述下导板平行于所述上导板，并且多个所述下开孔的位置分别对应于多个所述上开孔的位置；以及/n多个矩形探针，分别穿设于所述上导板的多个所述上开孔、并分别穿过所述下导板的多个所述下开孔；其中，每个所述矩形探针呈长形并定义有一长度方向，每个所述矩形探针的一外表面包含有平行于所述长度方向的两个宽侧面与两个窄侧面，并且每个所述矩形探针包含：/n一中间段，位于所述上导板与所述下导板之间；/n一第一连接段，自所述中间段一端延伸所形成并穿设于相对应的所述上开孔内；/n一第二连接段，自所述中间段另一端延伸所形成并穿设于相对应的所述下开孔内；/n一第一接触段，自所述第一连接段延伸所形成且穿出相对应的所述上开孔；/n一第二接触段，自所述第二连接段延伸所形成且穿出相对应的所述下开孔；及/n至少一行程结构，形成于所述中间段、所述第一接触段及所述第二接触段的至少其中之一，并且至少一所述行程结构包含有：/n一纵向穿孔，贯穿两个所述宽侧面且平行于所述长度方向；及/n两个横向沟槽，分别凹设于两个所述宽侧面、并分别位于所述纵向穿孔的两侧，并且两个所述横向沟槽自所述纵向穿孔分别延伸至两个所述窄侧面；其中，两个所述横向沟槽位于垂直所述长度方向的一平面上；/n其中，当所述高速探针卡装置的多个所述矩形探针压抵于一待测物时，每个所述矩形探针的至少一所述行程结构的两个所述横向沟槽分别朝彼此远离的方向移动，以使每个所述矩形探针形成有至少一所述行程结构的一部位在所述长度方向上的长度缩短、并续有一回弹力。/n...

【技术特征摘要】
1.一种高速探针卡装置，其特征在于，所述高速探针卡装置包括：
一上导板，形成有多个上开孔；
一下导板，形成有多个下开孔，所述下导板平行于所述上导板，并且多个所述下开孔的位置分别对应于多个所述上开孔的位置；以及
多个矩形探针，分别穿设于所述上导板的多个所述上开孔、并分别穿过所述下导板的多个所述下开孔；其中，每个所述矩形探针呈长形并定义有一长度方向，每个所述矩形探针的一外表面包含有平行于所述长度方向的两个宽侧面与两个窄侧面，并且每个所述矩形探针包含：
一中间段，位于所述上导板与所述下导板之间；
一第一连接段，自所述中间段一端延伸所形成并穿设于相对应的所述上开孔内；
一第二连接段，自所述中间段另一端延伸所形成并穿设于相对应的所述下开孔内；
一第一接触段，自所述第一连接段延伸所形成且穿出相对应的所述上开孔；
一第二接触段，自所述第二连接段延伸所形成且穿出相对应的所述下开孔；及
至少一行程结构，形成于所述中间段、所述第一接触段及所述第二接触段的至少其中之一，并且至少一所述行程结构包含有：
一纵向穿孔，贯穿两个所述宽侧面且平行于所述长度方向；及
两个横向沟槽，分别凹设于两个所述宽侧面、并分别位于所述纵向穿孔的两侧，并且两个所述横向沟槽自所述纵向穿孔分别延伸至两个所述窄侧面；其中，两个所述横向沟槽位于垂直所述长度方向的一平面上；
其中，当所述高速探针卡装置的多个所述矩形探针压抵于一待测物时，每个所述矩形探针的至少一所述行程结构的两个所述横向沟槽分别朝彼此远离的方向移动，以使每个所述矩形探针形成有至少一所述行程结构的一部位在所述长度方向上的长度缩短、并续有一回弹力。


2.依据权利要求1所述的高速探针卡装置，其特征在于，于至少一所述行程结构中，每个所述横向沟槽的深度不大于所述矩形探针的厚度的50％，并且每个所述横向沟槽连通于所述纵向穿孔的中央部位。


3.依据权利要求1所述的高速探针卡装置，其特征在于，于至少一所述行程结构中，所述纵向穿孔的长度至少为所述纵向穿孔的宽度的两倍，所述纵向穿孔的所述宽度不大于任一个所述宽侧面的宽度的30％。


4.依据权利要求1所述的高速探针卡装置，其特征在于，于每个所述矩形探针中，至少一所述行程结构的数量进一步限定为多个，并且多个所述行程结构是沿所述长度方向间隔地形成于所述中间段上。


5.依据权利要求4所述的高速探针卡装置，其特征在于，于每个所述矩形探针的彼此相邻两个所述行程结构中，位于...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文聪，谢开杰，
申请(专利权)人：中华精测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71