【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光测量
，特别涉及基于激光自混合干涉和表面等离子体共振的能判别角度旋转方向的角度测量方法及装置。
技术介绍
角度测量是计量科学的重要组成部分，角度的测量在航空航天、军事、微机电系统、精密加工、高精度检测等许多领域都具有极其重要的意义和作用。目前常用的角度测量方法主要有光学自准直法、全内反射法、激光干涉法等。各种装置有各自的特点及应用局限性。自准直法就是在光学上使物体和像分别位于共轭平面上，当物体发生转动时，物体在像面上所成的像点也随之发生移动，通过测量像点的移动量便可以求出物体转动的角度。传统激光干涉法是利用测量光束和参考光束的干涉现象，即将角度的变化转换成两束光的光程差变化，从而引起干涉条纹移动，通过测量干涉条纹的移动量，来实现对角度的高精度测量。自准直法原理简单，操作方便，但测量精度较低；传统激光干涉法装置复杂，但测量精度高。激光自混合干涉是指激光器输出光被外部物体反射或散射后，部分光反馈回激光器内，与激光腔内光相混合后，引起激光器输出功率发生变化的现象，也可称为光回馈，即激光器输出的光反馈自身的谐振腔内。光回馈引起的功率变化输出信号...
【技术保护点】
一种能判别角度旋转方向的角度测量方法，其特征在于包括：－在被测物体表面设置一棱镜，所述棱镜的一面用作激光自混合干涉回馈激光的外腔反射镜，另一面镀有金属膜；－激光器输出的一偏振方向平行于入射面的线偏振激光束从用作外腔反射镜的棱镜面垂直入射进入棱镜，经镀有金属膜的棱镜面反射后从棱镜射出，再用一光电探测器对出射光强进行探测；所述镀有金属膜的棱镜面产生表面等离子体共振效应，将被测物体的旋转角度零参考点设置在表面等离子体共振峰的上升沿或下降沿的中部，被测物体旋转时，激光束入射镀有金属膜的棱镜面的入射角也不断变大或变小，则出射激光束的平均光强也不断变大或变小；－通过判断出射激光束的平均...
【技术特征摘要】
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