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能判别角度旋转方向的角度测量方法及装置制造方法及图纸
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下载能判别角度旋转方向的角度测量方法及装置的技术资料
文档序号:2508234
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本发明涉及一种基于激光自混合干涉和表面等离子体共振的能判别角度旋转方向的角度测量方法,包括:在被测物体表面设置一棱镜,一偏振方向平行于入射面的线偏振激光束从用作激光自混合干涉外腔反射镜的棱镜面垂直入射进入棱镜,经镀有金属膜的棱镜面反射后从棱...
该专利属于暨南大学所有,仅供学习研究参考,未经过暨南大学授权不得商用。
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