【技术实现步骤摘要】
一种载具的循环回收设备
本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种载具的循环回收设备。
技术介绍
半导体的芯片后道制作过程中，随着自动化程度的不断提升，减少人为操作的干扰确保操作员工的安全一直以来都是自动化产业永恒不变的主题。在芯片制造过程中，往往有一些特定的工艺，需要特殊的夹装载具进行对产品的固定，例如回流，或者清洗等，需要对产品进行固定才能保证在进入回流工艺的时候不会被冲散，保证产品安全。该过程中，我们从上流接收产品，在载具上料机中，将产品固定在我们提供的载具上，随后将被载具夹装好的产品送入回流工艺，经过一段时间的回流，产品会从出口流出，载具下料机则接收产品，并将产品从载具中分离，将完成回流工艺的产品从载具下料机出口流出，传送至下一个工艺，或者被最终的收板机接收。对于载具的回收，目前的方式是通过人工，将载具收到进一个个料盒，并将料盒去除，通过小推车的形式，转移到上板机中，并将其一个个放置完成；但是不难发现，在这条流水线中，载具的上料机以及下料机基本是处于流水线最中部的部分，而且两者之间被回流炉所间隔，...
【技术保护点】
1.一种载具的循环回收设备，其特征在于：包括上料机构(1000)、下料机构(2000)与回流输送带(3000)，所述上料机构(1000)与下料机构(2000)的结构相同，均包括输送台(1500)、设于所述输送台(1500)正上方的辊带(1100)、设于所述输送台(1500)与辊带(1100)旁的升降导轨(1200)、设于所述升降导轨(1200)上的升降平台(1300)以及设于所述升降平台(1300)上的取放机构(1400)，所述下料机构(2000)中的辊带(1100)与所述回流输送带(3000)的进口相衔接，所述上料机构(1000)中的辊带(1100)与所述回流输送带(30...
【技术特征摘要】
1.一种载具的循环回收设备，其特征在于：包括上料机构(1000)、下料机构(2000)与回流输送带(3000)，所述上料机构(1000)与下料机构(2000)的结构相同，均包括输送台(1500)、设于所述输送台(1500)正上方的辊带(1100)、设于所述输送台(1500)与辊带(1100)旁的升降导轨(1200)、设于所述升降导轨(1200)上的升降平台(1300)以及设于所述升降平台(1300)上的取放机构(1400)，所述下料机构(2000)中的辊带(1100)与所述回流输送带(3000)的进口相衔接，所述上料机构(1000)中的辊带(1100)与所述回流输送带(3000)的出口相衔接，所述取放机构(1400)包括至少两根能够朝所述辊带(1100)和输送台(1500)方向伸出的取放条(1423)，所述输送台(1500)中具有能够将置于所述输送台(1500)上的载具(4000)顶起至高于所述输送台(1500)的顶升机构(1600)，当所述顶升机构(1600)将所述载具(4000)顶起时，所述取放条(1423)能够伸入所述输送台(1500)和载具(4000)间的间隙中，所述辊带(1100)用于支承辊子(1103)的侧支撑板(1102)在对应辊子(1103)间的间隙处具有从侧支撑板(1102)上表面向下延伸的缺口(1104)，所述取放条(1423)能够伸入所述缺口(1104)中。
2.按照权利要求1所述的载具的循环回收设备，其特征在于：所述输送台(1500)由台板(1501)、设于台板(1501)两侧的侧板(1502)以及分设于两块侧板(1502)内侧表面上的两组输送带(1503)构成。
3.按照权利要求2所述的载具的循环回收设备，其特征在于：所述台板(1501)共两块，横跨连接在所述侧板(1502)的下表面两端，所述顶升机构(1600)包括基板(1601)、导向杆(1602)、下支撑板(1603)、气缸(1604)、顶升板(1605)与顶杆(1606)，所述基板(1601)架设在两侧的台板(1501)上，所述导向杆(1602)从基板(1601)底面向下延伸，所述下支撑板(1603)连接于所述导向杆(1602)的底部，所述顶升板(1605)位于基板(1601)与下支撑板(1603)间，所述导向杆(1602)穿设于所述顶升板(1605)中，所述气缸(1604)...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵嘉裕，
申请(专利权)人：上海世禹精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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