一种分光装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种分光装置。该分光装置包括第一分光单元和第二分光单元，第一分光单元和第二分光单元分别包括相互垂直的第一反射面和第二反射面；入射光线入射到第一反射面形成第一反射光线，第一反射光线入射到第二反射面形成第二反射光线；入射光线与第一反射光线所在平面为第一入射面，偏振方向平行和垂直于第一入射面的入射光线在第一反射面的反射率分别为第一反射率和第二反射率；第一反射光线与第二反射光线所在平面为第二入射面，偏振方向平行和垂直于第二入射面的第一反射光线在第二反射面的反射率分别为第三反射率和第四反射率；第一反射率等于第三反射率，第二反射率等于第四反射率。本发明专利技术的技术方案，实现分光后不改变光束的偏振特性。

【技术实现步骤摘要】
一种分光装置
本专利技术实施例涉及光学技术，尤其涉及一种分光装置。
技术介绍
在光学系统中，特别是测试系统中存在多种参数同时测试的需求，就需要多路分光到各测试模块，图1是现有技术中的分光场景示意图，参考图1，光从光源出射后，沿着光束传输的方向，使用分光元件分光，光束进入各测量模块，实现多模块同时测量。现有技术中，窗口片、分光镜、分光棱镜等都是常用的分光装置，在分光的过程中，因材料和镀膜的固有属性，会造成不同偏振态的光的反射率不同，这样就会引入一个问题，分光会对偏振光特性的测试造成影响，导致分光后的偏振度与分光前偏振度不同，影响测量结果。
技术实现思路
本专利技术提供一种分光装置，以实现分光后不改变光束的偏振特性。本专利技术实施例提供一种分光装置，包括：第一分光单元，所述第一分光单元包括第一反射面；第二分光单元，所述第二分光单元包括第二反射面；所述第一反射面和所述第二反射面垂直；一束入射光线入射到所述第一反射面发生反射，形成第一反射光线，所述第一反射光线入射到所述第二反射面，形成第二反射光线；所述入射光线与所述第一反射光线所在的平面为第一入射面，偏振方向平行于所述第一入射面的入射光线在所述第一反射面的反射率为第一反射率，偏振方向垂直于所述第一入射面的入射光线在所述第一反射面的反射率为第二反射率；所述第一反射光线与所述第二反射光线所在的平面为第二入射面，偏振方向平行于所述第二入射面的第一反射光线在所述第二反射面的反射率为第三反射率，偏振方向垂直于所述第二入射面的第一反射光线在所述第二反射面的反射率为第四反射率；所述第一反射率和所述第三反射率相同，所述第二反射率和所述第四反射率相同。可选的，所述第一反射面的表面和所述第二反射面的表面设置有光学膜层，所述光学膜层具有预设的透反比。可选的，所述第一分光单元和所述第二分光单元均为平板分光镜。可选的，所述第一分光单元和所述第二分光单元的形状和材料均相同。可选的，所述第一分光单元包括第一楔形分光镜，所述第二分光单元包括第二楔形分光镜。可选的，还包括第三分光单元，所述第三分光单元包括第三楔形分光镜，所述第三楔形分光镜包括第一入射面和第二入射面；所述第三楔形分光镜的第一入光面与所述第一楔形分光镜的出光面平行，所述第三楔形分光镜的第二入光面与所述第一反射面平行。可选的，所述第一楔形分光镜与所述第三楔形分光镜的形状和材料相同。可选的，所述第一楔形分光镜与所述第三楔形分光镜之间的距离可调。可选的，还包括第一挡片，用于遮挡所述第一楔形分光镜的出光面反射并经所述第一反射面透射的光线、所述第三楔形分光镜的第一入光面的反射光线以及所述第三楔形分光镜的第二入光面反射并经所述第三楔形分光镜的第一入光面透射的光线。可选的，还包括位于所述第三楔形分光镜的第二入光面一侧，且与所述第三楔形分光镜共光轴排列的第四分光单元，所述第四分光单元包括第四楔形分光镜和第五楔形分光镜；所述第三楔形分光镜与所述第四楔形分光镜关于垂直于光轴的平面镜像对称；所述第一楔形分光镜与所述第五楔形分光镜关于垂直于光轴的平面镜像对称。可选的，所述入射光线入射到所述第一反射面的入射角为45°。本专利技术实施例提供的一种分光装置，包括：第一分光单元，第一分光单元包括第一反射面；第二分光单元，第二分光单元包括第二反射面；第一反射面和第二反射面垂直；一束入射光线入射到第一反射面发生反射，形成第一反射光线，第一反射光线入射到第二反射面，形成第二反射光线；入射光线与第一反射光线所在的平面为第一入射面，偏振方向平行于第一入射面的入射光线在第一反射面的反射率为第一反射率，偏振方向垂直于第一入射面的入射光线在第一反射面的反射率为第二反射率；第一反射光线与第二反射光线所在的平面为第二入射面，偏振方向平行于第二入射面的第一反射光线在第二反射面的反射率为第三反射率，偏振方向垂直于第二入射面的第一反射光线在第二反射面的反射率为第四反射率；通过设置第一反射面和第二反射面垂直，可以使第一入射面与第二入射面垂直，从而实现第一入射面和第二入射面中偏振光相互转换(平行偏振变为垂直偏振，垂直偏振变为平行偏振)，通过设置第一反射率和第三反射率相同，第二反射率和第四反射率相同，实现分光后的出射光线的偏振度与入射光线的偏振度相同，解决分光装置分光后入射光线的偏振度发生改变的问题，分光后不改变光束的偏振特性。附图说明图1是现有技术中的分光场景示意图；图2是本专利技术实施例提供的一种分光装置的结构示意图；图3是本专利技术实施例提供的另一种分光装置的结构示意图；图4是本专利技术实施例提供的又一种分光装置的结构示意图；图5是一种楔形分光镜分光的光路示意图；图6是一种楔形分光镜组分光的光路示意图；图7是本专利技术实施例提供的又一种分光装置的结构示意图；图8是本专利技术实施例提供的又一种分光装置的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，而非对本专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本专利技术相关的部分而非全部结构。在本专利技术实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本专利技术。需要注意的是，本专利技术实施例所描述的“上”、“下”、“左”、“右”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本专利技术实施例的限定。此外在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件被形成在另一个元件“上”或“下”时，其不仅能够直接形成在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接形成在另一元件“上”或者“下”。术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术的中的具体含义。图2所示为本专利技术实施例提供的一种分光装置的结构示意图。参考图2，本实施例提供的分光装置包括第一分光单元10，第一分光单元10包括第一反射面101；第二分光单元20，第二分光单元20包括第二反射面201；第一反射面101和第二反射面201垂直；一束入射光线a入射到第一反射面101发生反射，形成第一反射光线b，第一反射光线b入射到第二反射面201，形成第二反射光线c；入射光线a与第一反射光线b所在的平面为第一入射面，偏振方向平行于第一入射面的入射光线在第一反射面101的反射率为第一反射率，偏振方向垂直于第一入射面的入射光线在第一反射面101的反射率为第二反射率；第一反射光线b与第二反射光线c所在的平面为第二入射面，偏振方向平行于第二入射面201的第一反射光线在第二反射面201的反射率为第三反射率，偏振方向垂直于第二入射面的第一反射光线在第二反射面201的反射率为第四反射率；第一反射率和第三反射率相同，第二反射率和第四反射率相同。示例性的，参考图2，入本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分光装置，其特征在于，包括：/n第一分光单元，所述第一分光单元包括第一反射面；/n第二分光单元，所述第二分光单元包括第二反射面；/n所述第一反射面和所述第二反射面垂直；/n一束入射光线入射到所述第一反射面发生反射，形成第一反射光线，所述第一反射光线入射到所述第二反射面，形成第二反射光线；/n所述入射光线与所述第一反射光线所在的平面为第一入射面，偏振方向平行于所述第一入射面的入射光线在所述第一反射面的反射率为第一反射率，偏振方向垂直于所述第一入射面的入射光线在所述第一反射面的反射率为第二反射率；/n所述第一反射光线与所述第二反射光线所在的平面为第二入射面，偏振方向平行于所述第二入射面的第一反射光线在所述第二反射面的反射率为第三反射率，偏振方向垂直于所述第二入射面的第一反射光线在所述第二反射面的反射率为第四反射率；/n所述第一反射率和所述第三反射率相同，所述第二反射率和所述第四反射率相同。/n

【技术特征摘要】
1.一种分光装置，其特征在于，包括：
第一分光单元，所述第一分光单元包括第一反射面；
第二分光单元，所述第二分光单元包括第二反射面；
所述第一反射面和所述第二反射面垂直；
一束入射光线入射到所述第一反射面发生反射，形成第一反射光线，所述第一反射光线入射到所述第二反射面，形成第二反射光线；
所述入射光线与所述第一反射光线所在的平面为第一入射面，偏振方向平行于所述第一入射面的入射光线在所述第一反射面的反射率为第一反射率，偏振方向垂直于所述第一入射面的入射光线在所述第一反射面的反射率为第二反射率；
所述第一反射光线与所述第二反射光线所在的平面为第二入射面，偏振方向平行于所述第二入射面的第一反射光线在所述第二反射面的反射率为第三反射率，偏振方向垂直于所述第二入射面的第一反射光线在所述第二反射面的反射率为第四反射率；
所述第一反射率和所述第三反射率相同，所述第二反射率和所述第四反射率相同。


2.根据权利要求1所述的分光装置，其特征在于，所述第一反射面的表面和所述第二反射面的表面设置有光学膜层，所述光学膜层具有预设的透反比。


3.根据权利要求1所述的分光装置，其特征在于，所述第一分光单元和所述第二分光单元均为平板分光镜。


4.根据权利要求3所述的分光装置，其特征在于，所述第一分光单元和所述第二分光单元的形状和材料均相同。


5.根据权利要求1所述的分光装置，其特征在于，所述第一分光单元包括第一楔形分光镜，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐建旭，兰艳平，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31