一种连续式卧式真空烧结炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种连续式卧式真空烧结炉，包括卧式安装架，所述卧式安装架上端面从左到右依次安装设置有第一抽真空炉、第二抽真空炉、加热炉、封接炉和冷却炉，所述卧式安装架上设置有料框，所述第二抽真空炉、加热炉和封接炉外配置有机械扩散泵机组，所述第一抽真空炉、冷却炉外配置有机械泵，结构简单，构造清晰易懂，工件由炉外到炉内，抽真空，加热，封接，冷却，出炉，可实现全自动操作，从而实现连续烧结，操作简单，自动化程度高，生产效率高，人工成本低，值得推广。

【技术实现步骤摘要】
一种连续式卧式真空烧结炉
本技术涉及真空烧结炉
，具体为一种连续式卧式真空烧结炉。
技术介绍
烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。传统的烧结炉由人工进行工件的取拿，每次进行一组工件的烧结，效率极低，人工成本高，且具有安全隐患，因此，需要一种连续式卧式真空烧结炉。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种连续式卧式真空烧结炉，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种连续式卧式真空烧结炉，包括卧式安装架，所述卧式安装架上端面从左到右依次安装设置有第一抽真空炉、第二抽真空炉、加热炉、封接炉和冷却炉，所述卧式安装架上设置有料框，所述第二抽真空炉、加热炉和封接炉外配置有机械扩散泵机组，所述第一抽真空炉、冷却炉外配置有机械泵。优选的，所述第一抽真空炉左侧设置有进料门，所述冷却炉右侧设置有出料门，所述进料门和出料门外安装有气缸。优选的，所述第一抽真空炉、第二抽真空炉、加热炉、封接炉和冷却炉相互之间设置有隔板，所述隔板上设置安装有插板阀。优选的，所述卧式安装架底部连接设置有若干支撑立柱，所述卧式安装架下方设置有出料斜板，所述出料斜板为左端倾斜向下设置，所述出料斜板左端置于卧式安装架左侧下方设置，所述出料斜板右端置于卧式安装架右侧下方设置。优选的，所述第一抽真空炉、第二抽真空炉、加热炉、封接炉和冷却炉内左右两侧设置安装有链轮组，所述第一抽真空炉、第二抽真空炉、加热炉、封接炉和冷却炉外分别安装有电机，所述电机输出端通过减速机与链轮组驱动连接，所述链轮组外套装设置有连输链板。优选的，所述机械扩散泵机组包括连接管，所述连接管一端分别与第一抽真空炉、第二抽真空炉、加热炉、封接炉和冷却炉连接，所述连接管另一端连接有扩散泵，所述扩散泵与机械泵之间连接有阀门组。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术结构简单，构造清晰易懂，工件由炉外到炉内，抽真空，加热，封接，冷却，出炉，可实现全自动操作，从而实现连续烧结，操作简单，自动化程度高，生产效率高，人工成本低，值得推广。附图说明图1为一种连续式卧式真空烧结炉的整体结构示意图；图2为一种连续式卧式真空烧结炉的机械扩散泵机组结构示意图。图中：1-出料斜板，2-连输链板，3-卧式安装架，4-料框，5-进料门，6-第一抽真空炉，7-第二抽真空炉，8-加热炉，9-插板阀，10-隔板，11-封接炉，12-冷却炉，13-气缸，14-出料门，15-链轮组，16-电机，17-连接管，18-扩散泵，19-阀门组，20-机械扩散泵机组，21-机械泵，22-支撑立柱。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1～2，本技术提供一种技术方案：一种连续式卧式真空烧结炉，包括卧式安装架3，所述卧式安装架3上端面从左到右依次安装设置有第一抽真空炉6、第二抽真空炉7、加热炉8、封接炉11和冷却炉12，所述卧式安装架3上设置有料框4，所述第二抽真空炉7、加热炉8和封接炉11外配置有机械扩散泵机组20，所述第一抽真空炉6、冷却炉12外配置有机械泵21，所述第一抽真空炉6左侧设置有进料门5，所述冷却炉12右侧设置有出料门14，所述进料门5和出料门14外安装有气缸13，所述第一抽真空炉6、第二抽真空炉7、加热炉8、封接炉11和冷却炉12相互之间设置有隔板10，所述隔板10上设置安装有插板阀9，所述卧式安装架3底部连接设置有若干支撑立柱22，所述卧式安装架3下方设置有出料斜板1，所述出料斜板1为左端倾斜向下设置，所述出料斜板1左端置于卧式安装架3左侧下方设置，所述出料斜板1右端置于卧式安装架3右侧下方设置，所述第一抽真空炉6、第二抽真空炉7、加热炉8、封接炉11和冷却炉12内左右两侧设置安装有链轮组15，所述第一抽真空炉6、第二抽真空炉7、加热炉8、封接炉11和冷却炉12外分别安装有电机16，所述电机16输出端通过减速机与链轮组15驱动连接，所述链轮组15外套装设置有连输链板2，所述机械扩散泵机组20包括连接管17，所述连接管17一端分别与第一抽真空炉6、第二抽真空炉7、加热炉8、封接炉11和冷却炉12连接，所述连接管17另一端连接有扩散泵18，所述扩散泵18与机械泵21之间连接有阀门组19。气缸13推动进料门5开启，料框4从进料门5进入第一抽真空炉6内，第一抽真空炉6外配置机械泵21，抽低真空5—5X10-1Pa，炉体内抽真空后，工件坯子表面经过真空清理，达到真空度后可以开启插板阀9进入第二抽真空炉7中；第二抽真空炉7外配置机械扩散泵机组20，可抽真空度达5X10-3—6X10-4Pa，属于高真空，有利于焊料的熔解，及大量的排除气体，工件进入后，可获得高真空，同时被炉内高温加热到400℃左右，经过高温加热能充分放气，最终达到400℃左右；打开插板阀9后料框4进入加热炉8内，加热炉8外配置机械扩散泵机组20，可抽真空度达5X10-3—6X10-4Pa，属于高真空，有利于焊料的熔解，达到最终温度540℃左右，通过大量的排除气体，使工件坯子内部获得高真空；等到焊料完全融化，打开插板阀9进入封接炉11，封接炉11配置机械扩散泵机组20，可抽真空度达5X10-3—6X10-4Pa，属于高真空，封接炉11炉体侧壁为双层夹套，有利于降温，当最终温度400℃左右，这时工件坯子焊料已经封闭，热量通过炉客内壁传递出去，等到焊料凝固完整，进入冷却炉12；冷却炉12外配置机械泵21，抽低真空5—5X10-1Pa，冷却炉12炉体内带水冷夹套，工件坯子表面经过快速降温，达到一定温度后可开启出料门14，把工件坯子送出炉外，料框4沿着出料斜板1向下滑动，实现出料。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种连续式卧式真空烧结炉，包括卧式安装架(3)，其特征在于：所述卧式安装架(3)上端面从左到右依次安装设置有第一抽真空炉(6)、第二抽真空炉(7)、加热炉(8)、封接炉(11)和冷却炉(12)，所述卧式安装架(3)上设置有料框(4)，所述第二抽真空炉(7)、加热炉(8)和封接炉(11)外配置有机械扩散泵机组(20)，所述第一抽真空炉(6)、冷却炉(12)外配置有机械泵(21)。/n

【技术特征摘要】
1.一种连续式卧式真空烧结炉，包括卧式安装架(3)，其特征在于：所述卧式安装架(3)上端面从左到右依次安装设置有第一抽真空炉(6)、第二抽真空炉(7)、加热炉(8)、封接炉(11)和冷却炉(12)，所述卧式安装架(3)上设置有料框(4)，所述第二抽真空炉(7)、加热炉(8)和封接炉(11)外配置有机械扩散泵机组(20)，所述第一抽真空炉(6)、冷却炉(12)外配置有机械泵(21)。


2.根据权利要求1所述的一种连续式卧式真空烧结炉，其特征在于：所述第一抽真空炉(6)左侧设置有进料门(5)，所述冷却炉(12)右侧设置有出料门(14)，所述进料门(5)和出料门(14)外安装有气缸(13)。


3.根据权利要求2所述的一种连续式卧式真空烧结炉，其特征在于：所述第一抽真空炉(6)、第二抽真空炉(7)、加热炉(8)、封接炉(11)和冷却炉(12)相互之间设置有隔板(10)，所述隔板(10)上设置安装有插板阀(9)。


4.根据权利要求3所述的一种连续式卧式真空烧结炉，其特征在于：所述卧式安装架(3)底部连接设置有若干支撑立柱...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘红星，王玉洁，
申请(专利权)人：苏州楚翰真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32