【技术实现步骤摘要】
一种真空炉真空系统
本技术属于真空炉设备
,特别涉及一种真空炉真空系统。
技术介绍
真空系统是真空炉设备中不可缺少的部分,真空炉主要靠真空系统中的真空泵进行抽空,现有真空系统若使用在高温真空炉上,抽空时间久,冷却效果差,除尘性能低,影响抽空进度,使用时降低了整台设备的使用效率。
技术实现思路
针对上述问题,本技术的目的在于提供一种真空炉真空系统,以解决现有真空炉真空系统抽空时间久,冷却效果差,除尘性能低及工作效率低的问题。为了实现上述目的,本技术采用以下技术方案:一种真空炉真空系统,包括滑阀泵、一级过滤排气管路、二级过滤排气管路、大除尘装置、小除尘装置、罗茨泵排气管及罗茨泵,其中大除尘装置的进气管与真空炉连接,所述大除尘装置具有一个或多个出气管,各所述出气管通过一级过滤排气管路与罗茨泵的进气口连接,所述罗茨泵的排气口与罗茨泵排气管的进气口连接,所述罗茨泵排气管上设有多个排气口、且通过管路分别与多个小除尘装置的进气口连接,所述小除尘装置的排气口通过二级过滤排气管路与滑阀泵连接。所述一级过滤排气管路包括大直径波纹管、直管及连接在所述大直径波纹管和直管之间的大直径挡板阀,其中直管的下端与所述罗茨泵的进气口连接,上端与大直径挡板阀的排气口连接,所述大直径挡板阀的进气口与大直径波纹管的一端连接,所述大直径波纹管的另一端与所述大除尘装置的出气管连接。所述大直径挡板阀包括大直径挡板阀阀体和大直径挡板阀气缸,所述大直径挡板阀气缸设置于所述大直径挡板阀阀体顶部的大直径挡板阀上盖上, ...
【技术保护点】
1.一种真空炉真空系统,其特征在于,包括滑阀泵(1)、一级过滤排气管路、二级过滤排气管路、大除尘装置(7)、小除尘装置(8)、罗茨泵排气管(9)及罗茨泵(12),其中大除尘装置(7)的进气管(71)与真空炉连接,所述大除尘装置(7)具有一个或多个出气管(72),各所述出气管(72)通过一级过滤排气管路与罗茨泵(12)的进气口连接,所述罗茨泵(12)的排气口与罗茨泵排气管(9)的进气口连接,所述罗茨泵排气管(9)上设有多个排气口、且通过管路分别与多个小除尘装置(8)的进气口连接,所述小除尘装置(8)的排气口通过二级过滤排气管路与滑阀泵(1)连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种真空炉真空系统,其特征在于,包括滑阀泵(1)、一级过滤排气管路、二级过滤排气管路、大除尘装置(7)、小除尘装置(8)、罗茨泵排气管(9)及罗茨泵(12),其中大除尘装置(7)的进气管(71)与真空炉连接,所述大除尘装置(7)具有一个或多个出气管(72),各所述出气管(72)通过一级过滤排气管路与罗茨泵(12)的进气口连接,所述罗茨泵(12)的排气口与罗茨泵排气管(9)的进气口连接,所述罗茨泵排气管(9)上设有多个排气口、且通过管路分别与多个小除尘装置(8)的进气口连接,所述小除尘装置(8)的排气口通过二级过滤排气管路与滑阀泵(1)连接。
2.根据权利要求1所述的真空炉真空系统,其特征在于,所述一级过滤排气管路包括大直径波纹管(6)、直管(11)及连接在所述大直径波纹管(6)和直管(11)之间的大直径挡板阀(5),其中直管(11)的下端与所述罗茨泵(12)的进气口连接,上端与大直径挡板阀(5)的排气口连接,所述大直径挡板阀(5)的进气口与大直径波纹管(6)的一端连接,所述大直径波纹管(6)的另一端与所述大除尘装置(7)的出气管(72)连接。
3.根据权利要求2所述的真空炉真空系统,其特征在于,所述大直径挡板阀(5)包括大直径挡板阀阀体(38)和大直径挡板阀气缸(35),所述大直径挡板阀气缸(35)设置于所述大直径挡板阀阀体(38)顶部的大直径挡板阀上盖(37)上,用于开启或关闭所述大直径挡板阀(5),所述大直径挡板阀气缸(35)的缸体上端设有大直径挡板阀行程开关(36),所述大直径挡板阀气缸(35)设有大直径挡板阀顶部气缸杆出入压板(34),所述大直径挡板阀顶部气缸杆出入压板(34)与所述大直径挡板阀行程开关(36)配合限制所述大直径挡板阀气缸(35)的伸出行程,所述大直径挡板阀阀体(38)的侧面进气口处设有大直径挡板阀侧接管(40),底部排气口处设有大直径挡板阀下接管(39)。
4.根据权利要求2所述的真空炉真空系统,其特征在于,所述直管(11)包括直管体(43)及固定连接在所述直管体(43)两端的上法兰(41)和下法兰(44),所述下法兰(44)与所述罗茨泵(12)的进气口通过螺栓固定连接,所述上法兰(41)与所述大直径挡板阀(5)的排气口定位连接,所述上法兰(41)的外侧套设有活套法兰(42)、且通过止口定位,所述活套法兰(42)与所述大直径挡板阀(5)的...
【专利技术属性】
技术研发人员:程革,刘鹏程,吴冰,孔德惠,于洪斌,张天龙,吴振磊,陶崇浩,李天华,赵嘉明,韩凤,何晓棠,
申请(专利权)人:沈阳沈真真空技术有限责任公司,
类型:新型
国别省市:辽宁;21
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