样本检验的方法及其系统技术方案

提供了一种在样本上进行检验的系统和方法，所述方法包括：获得管芯的检查图像并使用一个或多个参考图像生成缺陷图；从所述缺陷图选择多个缺陷候选；以及对于每个缺陷候选，生成相应修改后的检查图像图块，包括：分别从所述检查图像以及每个参考图像提取在所述缺陷候选周围的图像图块；以及修改所述检查图像图块，包括：估计表示所述检查图像图块上的强度变化的噪声，所述噪声包括表示所述检查图像图块与所述参考图像图块之间的多项式关系的第一类型的噪声、以及表示所述检查图像图块中的空间异常的第二类型的噪声；以及基于所估计的噪声来从所述检查图像图块去除所述第一类型的噪声和所述第二类型的噪声中的至少一种。

【技术实现步骤摘要】
样本检验的方法及其系统
本公开的主题整体涉及样本检验领域，并且更具体地，涉及在样本上的缺陷检测的方法和系统。
技术介绍
当前对与所制造的器件的超大规模集成相关联的高密度和性能的需求要求亚微米特征、增大的晶体管和电路速度以及提高的可靠性。随着半导体工艺发展，图案尺寸(诸如线宽)和其他类型的临界尺寸不断地缩减。这也称为设计规则。这种需求要求形成具有高精确度和均匀性的器件特征，这又必需监视制造工艺，包括在器件仍然是半导体晶片(包括成品器件和/或非成品器件)的形式时对器件的频繁且详细的检查。本说明书中使用的术语“样本”应当广泛地解释为覆盖用于制造半导体集成电路、磁头、平板显示器和其他半导体制造的制品的任何种类的晶片、掩模和其他结构、以上项的组合和/或部分。除非另外具体地说明，否则本说明书中使用的术语“检验”应当广泛地解释为覆盖对对象中的缺陷的任何种类的检测和/或分类。检验是通过在待检验的对象的制造期间或之后使用例如非破坏性检验工具来提供。作为非限制性示例，检验工艺可以包括使用一个或多个检验工具进行扫描(以单次扫描或多次扫描)、采样、查验本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种样本检验的计算机化系统，所述系统包括：/n检验工具，所述检验工具被配置为捕获所述样本的管芯的检查图像并使用一个或多个参考图像生成指示所述检查图像上的缺陷候选分布的缺陷图；以及/n处理单元，所述处理单元可操作地连接到所述检验工具，所述处理单元包括存储器和可操作地耦接到所述存储器的处理器，所述处理单元被配置为：/n根据预限定的标准从所述缺陷图选择多个缺陷候选；以及/n对于所述多个缺陷候选中的每个，生成相应修改后的检查图像图块，从而产生对应于所述多个缺陷候选的多个修改后的检查图像图块，其中所述生成包括对于所述多个缺陷候选中的给定缺陷候选：/n分别从所述检查图像以及所述一个或多个参考图像中的每...

【技术特征摘要】
20190117 US 16/250,8321.一种样本检验的计算机化系统，所述系统包括：
检验工具，所述检验工具被配置为捕获所述样本的管芯的检查图像并使用一个或多个参考图像生成指示所述检查图像上的缺陷候选分布的缺陷图；以及
处理单元，所述处理单元可操作地连接到所述检验工具，所述处理单元包括存储器和可操作地耦接到所述存储器的处理器，所述处理单元被配置为：
根据预限定的标准从所述缺陷图选择多个缺陷候选；以及
对于所述多个缺陷候选中的每个，生成相应修改后的检查图像图块，从而产生对应于所述多个缺陷候选的多个修改后的检查图像图块，其中所述生成包括对于所述多个缺陷候选中的给定缺陷候选：
分别从所述检查图像以及所述一个或多个参考图像中的每个提取在所述给定缺陷候选的位置周围的图像图块，从而产生包括对应于所述给定缺陷候选的检查图像图块和一个或多个参考图像图块的一组图像图块；以及
修改所述检查图像图块以获得修改后的检查图像图块，包括：使用所述一组图像图块估计表示所述检查图像图块上的强度变化的噪声，所述噪声包括表示所述检查图像图块的像素值与所述参考图像图块中的至少一些中的对应像素值之间的多项式关系的第一类型的噪声、以及表示相对于所述参考图像图块中的至少一些的所述检查图像图块中的空间异常的存在的第二类型的噪声；以及基于所估计的噪声来从所述检查图像图块去除所述第一类型的噪声和所述第二类型的噪声中的至少一种；
其中所述修改后的检查图像图块和/或所述所估计的噪声可用于所述样本的进一步检验。


2.根据权利要求1所述的计算机化系统，其中所述处理单元还被配置为相对于所述一个或多个参考图像图块使用所述多个修改后的检查图像图块对所述样本执行缺陷检测，从而产生更新后的缺陷图。


3.根据权利要求1所述的计算机化系统，其中所述处理单元还被配置为使用表征所述缺陷候选的一组属性执行缺陷候选聚类，所述一组属性包括所述所估计的噪声的至少一个或多个属性。


4.根据权利要求1所述的计算机化系统，其中所述估计包括：估计所述空间异常的空间大小和相对于所述一个或多个参考图像图块中的每个的所述多项式关系的一个或多个系数，从而产生所述空间大小和对应于所述一个或多个参考图像图块的所述系数的一个或多个估计；以及基于所述一个或多个估计中的至少一些执行所述去除。


5.根据权利要求4所述的计算机化系统，其中所述估计还包括：组合所述空间大小的所述一个或多个估计以生成所述空间异常的复合估计；将所述复合估计与已知的缺陷模型进行比较以确定所述复合估计是否表示在所述检查图像图块上存在所述已知的缺陷模型，并且其中所述去除包括响应于确定存在所述已知的缺陷模型，基于所述复合估计来从所述检查图像图块去除所述第二类型的噪声。


6.根据权利要求4所述的计算机化系统，其中所述估计还包括组合所述系数的所述一个或多个估计以生成所述多项式关系的复合估计，并且其中所述去除包括基于所述复合估计来从所述检查图像图块去除所述第一类型的噪声。


7.根据权利要求5所述的计算机化系统，其中所述估计还包括组合所述系数的所述一个或多个估计以生成所述多项式关系的复合估计，并且其中所述去除还包括基于所述多项式关系的所述复合估计来从所述检查图像图块去除所述第一类型的噪声。


8.根据权利要求4所述的计算机化系统，其中对于所述一个或多个参考图像图块中的给定参考图像图块，所述估计空间大小包括：
提供所述空间大小的不同估计，每个估计包括所述空间异常的长度、宽度和幅值，以及提供与所述空间异常共存的潜在缺陷的幅值的不同缺陷估计；
使用所述空间大小的所述不同估计与所述不同缺陷估计之间的多个组合来计算多个所估计的误差，每个所估计的误差指示预期修改后的检查图像图块与所述给定参考图像图块之间的残差，其中预期所述修改后的检查图像图块可通过使用相应组合修改所述检查图像图块来获得；以及
在所述多个所估计的误差中提供最小所估计的误差的多个组合中选择一个组合，其中选定组合包括所述空间大小的选定估计。


9.根据权利要求4所述的计算机化系统，其中所述一个或多个系数包括所述多项式关系的增益和偏移。


10.根据权利要求3所述的计算机化系统，其中所述所估计的噪声的所述一个或多个属性包括所述空间大小和所述系数的一个或多个估计。


11.根据权利要求1所述的计算机化系统，其中所述检验工具是光学检查工具。


12.一种样本检验的计算机化方法，所述方法包括：
由检验工具捕获所述样本的管芯的检查图像并使用一个或多个参考图像生成指示所述检查图像上的缺陷候选分布的缺陷图；
由可操作地连接到所述检验工具的处理单元根据预限定的标准从所述缺陷图选择多个缺陷候选；以及
由所述处理单元对于所述多个缺陷候选中的每个，生成相应修改后的检查图像...

【专利技术属性】
技术研发人员：埃拉德·科恩，沙哈尔·阿拉德，
申请(专利权)人：应用材料以色列公司，
类型：发明
国别省市：以色列;IL