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提供了一种在样本上进行检验的系统和方法，所述方法包括：获得管芯的检查图像并使用一个或多个参考图像生成缺陷图；从所述缺陷图选择多个缺陷候选；以及对于每个缺陷候选，生成相应修改后的检查图像图块，包括：分别从所述检查图像以及每个参考图像提取在所述...
该专利属于应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司授权不得商用。

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