MEMS传感器防吸膜结构及MEMS传感器制造技术

本实用新型专利技术公开一种MEMS传感器防吸膜结构及MEMS传感器，该MEMS传感器防吸膜结构包括：防水膜、固定胶和支撑挡板，防水膜通过固定胶固定在支撑挡板上，支撑挡板上设置有多个通孔，支撑挡板靠近防水膜的表面上设置有多个凸起部。本实用新型专利技术旨在防止MEMS传感器的防尘防水膜吸附到支撑挡板上，从而避免出现因防水膜吸膜导致的传感器性能下降甚至失效的情况。

【技术实现步骤摘要】
MEMS传感器防吸膜结构及MEMS传感器
本技术涉及电子器件
，特别涉及一种MEMS传感器防吸膜结构和应用该MEMS传感器防吸膜结构的MEMS传感器。
技术介绍
微型机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)传感器是基于MEMS技术制造的传感器，由于其具有封装体积小、可靠性高和成本低等优点，广泛应用于各种影音和终端设备中，例如手机、平板电脑、PDA和监听设备等电子产品。MEMS传感器面临的使用环境非常复杂，长期使用后，MEMS传感器往往由于灰尘或进水等情形，导致MEMS传感器的性能下降。因此，MEMS传感器在制造过程中，会设置有防尘防水膜，防止灰尘或水滴进入MEMS传感器。但是，现有的设置有防尘防水膜的MEMS传感器在使用过程中，防尘防水膜会在水压等压力作用下，贴附在MEMS传感器主体挡板上无法分离，造成吸膜现象，从而导致对应的传感器器件性能失效。上述仅用于辅助理解本申请的技术方案，并不代表承认为现有技术。
技术实现思路
本技术的主要目的是提供一种MEMS传感本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS传感器防吸膜结构，包括防水膜、固定胶和支撑挡板，其特征在于，所述防水膜通过所述固定胶固定在所述支撑挡板上，所述支撑挡板设置有多个通孔，所述支撑挡板靠近所述防水膜的表面上设置有多个伸出指向所述防水膜的凸起部。/n

【技术特征摘要】
1.一种MEMS传感器防吸膜结构，包括防水膜、固定胶和支撑挡板，其特征在于，所述防水膜通过所述固定胶固定在所述支撑挡板上，所述支撑挡板设置有多个通孔，所述支撑挡板靠近所述防水膜的表面上设置有多个伸出指向所述防水膜的凸起部。


2.如权利要求1所述的MEMS传感器防吸膜结构，其特征在于，所述防水膜是一种透气薄膜，具有若干个微孔，兼具防水和防尘功能。


3.如权利要求2所述的MEMS传感器防吸膜结构，其特征在于，所述防水膜的材质为聚四氟乙烯。


4.如权利要求1所述的MEMS传感器防吸膜结构，其特征在于，所述凸起部的端部为平...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹曙明，吴安生，
申请(专利权)人：歌尔微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37