下载MEMS传感器防吸膜结构及MEMS传感器的技术资料

文档序号:24962009

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开一种MEMS传感器防吸膜结构及MEMS传感器,该MEMS传感器防吸膜结构包括:防水膜、固定胶和支撑挡板,防水膜通过固定胶固定在支撑挡板上,支撑挡板上设置有多个通孔,支撑挡板靠近防水膜的表面上设置有多个凸起部。本实用新型旨在防止...
该专利属于歌尔微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过歌尔微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。