等离子体处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了等离子体处理装置，包括箱体、等离子设备主体、真空泵，箱体由隔板隔成上下两层，上层腔室内安装等离子设备主体，下层腔室内安装真空泵，且下层腔室内至少一面上安装散热机构，包括传热片、导热柱及散热板，传热片位于下层腔室内，导热柱一端穿过腔室壁与传热片固定，另端固定散热板，散热板包括弧形本体及分布在弧形本体上的散热片，本等离子体处理装置改进结构，在下层腔室内安装散热机构用于散热，省却了风扇或水冷装置，通过传热片配合导热柱将下层腔室内热量传导出来，进而利用散热板进行散热，并改进散热板结构，采用弧形本体配合散热片的结构，扩大散热面积，提高散热效率。

【技术实现步骤摘要】
等离子体处理装置
本技术涉及等离子处理
，尤其涉及等离子体处理装置。
技术介绍
等离子处理装置工作原理：对气体施加足够的能量使其离化成等离子状态，进而处理工件样品，实现清洁等目的，市面上等离子处理装置一般利用真空泵抽取清洗腔内气体，维持一定真空度，部分型号中，真空泵与等离子设备主体为一体式安装，真空泵工作时产生的热量易积存在安装腔室内，一般通过安装风机或水冷管进行散热，风机使用较简单，但提高了能耗，水冷管的安装也较简单，但需外来水源接入，使用不够方便，因此需另寻途径改进。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的是提供等离子体处理装置，以解决上述问题。本技术的技术方案是：等离子体处理装置，包括箱体、等离子设备主体、真空泵，箱体由隔板隔成上下两层，上层腔室内安装等离子设备主体，下层腔室内安装真空泵，且下层腔室内至少一面上安装散热机构，包括传热片、导热柱及散热板，传热片位于下层腔室内，导热柱一端穿过腔室壁与传热片固定，另端固定散热板，散热板包括弧形本体及分布在弧形本体上的散热片。本等离子体处理装置改进结构，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.等离子体处理装置，包括箱体、等离子设备主体、真空泵，其特征在于，箱体由隔板隔成上下两层，上层腔室内安装等离子设备主体，下层腔室内安装真空泵，且下层腔室内至少一面上安装散热机构，包括传热片、导热柱及散热板，传热片位于下层腔室内，导热柱一端穿过腔室壁与传热片固定，另端固定散热板，散热板包括弧形本体及分布在弧形本体上的散热片。/n

【技术特征摘要】
1.等离子体处理装置，包括箱体、等离子设备主体、真空泵，其特征在于，箱体由隔板隔成上下两层，上层腔室内安装等离子设备主体，下层腔室内安装真空泵，且下层腔室内至少一面上安装散热机构，包括传热片、导热柱及散热板，传热片位于下层腔室内，导热柱一端穿过腔室壁与传热片固定，另端固定散热板，散热板包括弧形本体及分布在弧形本体上的散热片。


2.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于，还包括对流筒，固定在箱体壁上，散热板另端位于对流筒内。


3.根据权利要求2所述的等离子体处理装置，其特征在于，对流筒内下部位置的散热板数量多于...

【专利技术属性】
技术研发人员：董海清，申鹏，
申请(专利权)人：深圳市创智捷科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44