【技术实现步骤摘要】
一种用于等离子刻蚀的夹持装置
本技术属于等离子刻蚀
，特别涉及一种用于等离子刻蚀的夹持装置。
技术介绍
电感耦合等离子(ICP)刻蚀技术在半导体行业广泛应用，是半导体行业的关键工艺。太阳能电池实际上是一个面积比较大的非线性PN结，在制作过程中，需要将扩散工序中形成的硅边缘P-N结去除，否则，将导致电池正负极之间并联电阻过小，漏电流过大，影响电池的输出特性，所以需要用等离子刻蚀方式去除硅片边缘的PN结，在刻蚀过程中需将硅片层叠压紧，否则，硅表面的扩散层也将会部分去除，从而减小太阳能电池的有效面积，使其短路电流降低。在电感耦合等离子刻蚀机中，现有的夹持装置，其加压装置存在不能精确加压的严重问题，加在整叠硅片两侧的压力大小全凭个人经验，既不能准确控制整叠硅片的压力，也不能保证硅片四周的压力相平衡，使刻蚀效果不一致，不能准确控制产品质量，夹紧压力过大甚至会损坏硅片。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于等离子刻蚀的夹持装置，解决了上述技术问题。本技术采用如下技术方案：一种用于等离子刻...
【技术保护点】
1.一种用于等离子刻蚀的夹持装置，其特征在于：包括上底板、下底板和螺杆，所述螺杆有两根，所述下底板两侧的中心线上分别固定连接有一个第一连接部，两个所述第一连接部分别与两根所述螺杆的底端固定连接，所述上底板两侧的中心线上分别固定连接有一个第二连接部，两个所述第二连接部上分别设有一个通孔，所述通孔与所述螺杆配合，所述上底板通过其两侧所述第二连接部上的所述通孔套设在所述螺杆上，两根所述螺杆的顶端分别设有一个螺母，所述上底板的底面四个角分别设有一个压力传感器，所述上底板的上端面镶嵌有压力显示器，所述压力显示器与所述压力传感器电性连接，所述压力传感器底面固定连接有压板。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于等离子刻蚀的夹持装置，其特征在于：包括上底板、下底板和螺杆，所述螺杆有两根，所述下底板两侧的中心线上分别固定连接有一个第一连接部，两个所述第一连接部分别与两根所述螺杆的底端固定连接，所述上底板两侧的中心线上分别固定连接有一个第二连接部，两个所述第二连接部上分别设有一个通孔，所述通孔与所述螺杆配合，所述上底板通过其两侧所述第二连接部上的所述通孔套设在所述螺杆上，两根所述螺杆的顶端分别设有一个螺母，所述上底板的底面四个角分别设有一个压力传感器，所述上底板的上端面镶嵌有压力显示器，所述压力显示器与所述压力传感器电性连接，所述压力传感器底面固定连接有压板。
...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈正，刘昭，周亮亮，
申请(专利权)人：江苏国源激光智能装备制造有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。