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本实用新型公开了一种用于等离子刻蚀的夹持装置，包括上底板、下底板和螺杆，螺杆有两根，下底板两侧的中心线上分别固定连接有一个第一连接部，两个第一连接部分别与两根螺杆的底端固定连接，上底板两侧的中心线上分别固定连接有一个第二连接部，两个第二连接...
该专利属于江苏国源激光智能装备制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏国源激光智能装备制造有限公司授权不得商用。

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