一种2DMEMS探针卡用干燥装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种2DMEMS探针卡用干燥装置，包括外箱、电动机、夹具、端盖、空心板、输气管、安装机构以及卡合机构；安装机构包括T型槽、T型块、回位弹簧、T型杆、弹簧一以及斜块；卡合机构包括固定块、固定销、L型杆、弹簧二以及压块。本实用新型专利技术当斜块与限位槽对齐时，在弹簧一弹力的作用下，斜块移动进入限位槽内部，进而将T型块卡接在T型槽内部，转动L型杆，L型杆转动与磁杆分离，在复位盘簧弹力的作用下，L型杆转动带动压块移动，使得压块与端盖贴合，L型杆继续转动对弹簧二进行压缩，使得弹簧二产生弹力，弹簧二的弹力提高了压块对端盖的压合力。

【技术实现步骤摘要】
一种2DMEMS探针卡用干燥装置
本技术涉及一种2DMEMS探针卡用干燥装置，属于探针卡

技术介绍
探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试。目前使用的探针卡干燥装置存在一定缺陷，缺少空心板便捷拆装功能，造成不方便对空心板进行维护，进而降低了对探针卡的干燥效率，同时缺少端盖便捷卡合功能，当高温高压气体从空心板内部喷出时，端盖容易在气体反作用的作用下晃动，若通过锁扣进行连接，则不方便端盖的开启，进而不方便将探针卡安装在夹具上。因此，针对上述问题提出一种2DMEMS探针卡用干燥装置、安装机构以及卡合机构。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种2DMEMS探针卡用干燥装置。本技术通过以下技术方案来实现上述目的，一种2DMEMS探针卡用干燥装置，包括外箱、电动机、夹具、端盖、空心板、输气管、安装机构以及卡合机构，所述外箱后端固定安装电动机，且电动机前端延伸至外箱内部，所述电动机前端固定安装夹具，所述外箱顶端安装端盖，且端盖底端安装空心板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种2DMEMS探针卡用干燥装置，其特征在于：包括外箱（1）、电动机（2）、夹具（3）、端盖（4）、空心板（5）、输气管（6）、安装机构以及卡合机构，所述外箱（1）后端固定安装电动机（2），且电动机（2）前端延伸至外箱（1）内部，所述电动机（2）前端固定安装夹具（3），所述外箱（1）顶端安装端盖（4），且端盖（4）底端安装空心板（5），所述端盖（4）顶端安装输气管（6），且输气管（6）底端穿过端盖（4）与空心板（5）相连接；/n所述安装机构包括T型槽（7）、T型块（8）、回位弹簧（9）、T型杆（10）、弹簧一（11）以及斜块（12），所述端盖（4）底端对称开设两个T型槽（7），所述空心板（...

【技术特征摘要】
1.一种2DMEMS探针卡用干燥装置，其特征在于：包括外箱（1）、电动机（2）、夹具（3）、端盖（4）、空心板（5）、输气管（6）、安装机构以及卡合机构，所述外箱（1）后端固定安装电动机（2），且电动机（2）前端延伸至外箱（1）内部，所述电动机（2）前端固定安装夹具（3），所述外箱（1）顶端安装端盖（4），且端盖（4）底端安装空心板（5），所述端盖（4）顶端安装输气管（6），且输气管（6）底端穿过端盖（4）与空心板（5）相连接；
所述安装机构包括T型槽（7）、T型块（8）、回位弹簧（9）、T型杆（10）、弹簧一（11）以及斜块（12），所述端盖（4）底端对称开设两个T型槽（7），所述空心板（5）顶端对称固定安装两个T型块（8），所述T型块（8）安装在T型槽（7）内部，所述端盖（4）顶端对称安装两个T型杆（10），且T型杆（10）一端延伸至T型槽（7）内部，所述T型杆（10）底端固定安装斜块（12），所述T型槽（7）内部后壁上固定安装回位弹簧（9），所述T型杆（10）环形侧面上安装弹簧一（11），且弹簧一（11）两端分别固定安装在T型杆（10）上以及端盖（4）上；
所述卡合机构包括固定块（15）、固定销（16）、L型杆（17）、弹簧二（18）以及压块（19），所述外箱（1）外侧对称固定安装两个固定块（15），且两个固定块（15）之间固定安装固定销（16），所述固定销（16）环形侧面上安装L型杆（17），且L型杆（17）一端固定安装弹簧二（18），所述弹簧二（18）一端固定安装在压块（19）顶端，且压块（19）底端与端盖（4...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明星，黄海军，
申请(专利权)人：强一半导体苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32