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本实用新型公开了一种2DMEMS探针卡用干燥装置，包括外箱、电动机、夹具、端盖、空心板、输气管、安装机构以及卡合机构；安装机构包括T型槽、T型块、回位弹簧、T型杆、弹簧一以及斜块；卡合机构包括固定块、固定销、L型杆、弹簧二以及压块。本实用新...
该专利属于强一半导体(苏州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过强一半导体(苏州)有限公司授权不得商用。

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