异质结太阳能电池硅片的平滑修饰液及其制备方法与平滑修饰方法技术

本发明专利技术公开了一种异质结太阳能电池硅片的平滑修饰液及平滑修饰方法。所述平滑修饰液由臭氧、氟化氢以及水组成。所述平滑方法是将具有金字塔绒面的异质结太阳能电池硅片置于平滑修饰液中浸泡。该平滑修饰液的臭氧浓度较低，最终产物为氧气，对环境友好，不会对操作人员造成潜在的危害，可有效降低化学药品的成本。采用该平滑修饰液与平滑修饰方法浸泡具有金字塔绒面的异质结太阳能电池硅片，由于平滑修饰液中臭氧与氢氟酸的配合使用，可使金字塔绒面的尖锐的塔尖和塔底变得圆润，同时使得金字塔绒面的表面粗糙度降低，有利于后续本征硅薄膜沉积更加均匀，从而有利于提高异质结太阳能电池的性能。

【技术实现步骤摘要】
异质结太阳能电池硅片的平滑修饰液及其制备方法与平滑修饰方法
本专利技术涉及太阳能电池领域，特别是涉及异质结太阳能电池硅片的平滑修饰液及其制备方法与平滑修饰方法。
技术介绍
非晶硅/晶体硅异质结太阳能电池制造工艺简单，仅包括清洗制绒、沉积非晶硅薄膜、沉积透明导电氧化物薄膜和丝网印刷电极四个主要步骤。异质结太阳能电池既具有晶体硅太阳能电池的高效率和高稳定性，同时由于工艺相对简单、低温工艺能耗小、产品温度特性更好，在高温下也能有较高的输出。因此异质结太阳能电池近年来备受关注。目前，单晶硅太阳能电池制备工艺中，单晶硅片的绒面通常是利用碱性腐蚀液，如KOH、NaOH等对硅片表面腐蚀而成。它是利用腐蚀液对硅晶体的不同晶面具有不同的腐蚀速度—各向异性腐蚀，即对Si(100)晶面腐蚀较快，对Si(111)晶面腐蚀较慢。将单晶硅(100)晶面作为表面，经过腐蚀，会出现表面为(111)晶面的四方锥体结构，即金字塔结构。这种结构密布于硅片表面，好像是一层丝绒，因此称为“绒面”，即金字塔绒面。制作异质结电池时，对硅片绒面的要求是要能适应后续非晶硅薄膜层本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种异质结太阳能电池硅片的平滑修饰液，其特征在于，所述的平滑修饰液由臭氧、氟化氢以及水组成。/n

【技术特征摘要】
1.一种异质结太阳能电池硅片的平滑修饰液，其特征在于，所述的平滑修饰液由臭氧、氟化氢以及水组成。


2.如权利要求1所述的异质结太阳能电池硅片的平滑修饰液，其特征在于，所述的臭氧的浓度为10～30mg/L，所述氟化氢的浓度为0.4～1wt％，所述水为去离子水。


3.如权利要求1所述的异质结太阳能电池硅片的平滑修饰液，其特征在于，所述平滑修饰液由臭氧水与氢氟酸按照体积比50～100:1配置而成。


4.权利要求1～3任一项所述的用于异质结太阳能电池硅片的金字塔绒面的平滑修饰液的制备方法，其特征在于，将电解臭氧水与氢氟酸混合，即得平滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘超，李正平，杨杰，任栋樑，陈昌明，徐小娜，
申请(专利权)人：熵熠上海能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31