一种异质结电池生产中制绒绒面处理的方法技术

本发明专利技术公开了一种异质结电池生产中制绒绒面处理的方法，在制绒设备的化学抛光工艺槽中槽体药液采用脉冲循环方式处理硅片；本发明专利技术的有益效果是：采用脉冲循环使硅片绒面圆化更加均匀；利用脉冲循环比确定脉冲循环的时间节点与时间长度，实现药液扰动，保证硅片在化学抛光工艺中反应固定均匀，实现外观绒面均匀；利用脉冲循环阶段通入臭氧的处理方式，实现臭氧进入化学抛光工艺的反应分解在槽内浓度稳定；同时该脉冲循环方式适用于氢氟酸和硝酸的混合酸液的常规化学抛光。

【技术实现步骤摘要】
一种异质结电池生产中制绒绒面处理的方法
本专利技术涉及电池制备领域，具体是一种异质结电池生产中制绒绒面处理的方法。
技术介绍
硅异质结电池SHJ(SiliconHerterojunction)，又被称作HIT(Heterojunctionwithintrinsicthinlayer)电池，该电池具有高效率、高Voc等特点，该电池一般以N型硅片为基底，对硅基底界面要求特别严格，一般制程工序为：制绒、非晶硅、TCO、丝网和测试；其中制绒工序大致流程为：前清洗→去损→制绒→后清洗1→CP→后清洗2→HF→烘干；前清洗清洗硅片表面脏污灰尘等；去损为去除硅片表面损伤层；制绒TEX形成硅片金字塔，减少反射率；CP(ChemicalPolishing)为化学抛光工艺，对制绒后的金字塔硅片进行平滑处理；HF槽去除硅片表面SiO2杂质。目前的SHJ规模化生产中，制绒工序通常会采用HNO3在CP中进行绒面平滑的处理，金字塔平滑后有助于晶体硅表面钝化，从而提升电池效率；而采用臭氧CP圆化成本上较HNO3CP更加有优势，越来越多厂家开始使用臭氧CP。但是在CP本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种异质结电池生产中制绒绒面处理的方法，其特征在于：在制绒后的化学抛光工艺中药液循环采用脉冲循环的方式，处理硅片。/n

【技术特征摘要】
1.一种异质结电池生产中制绒绒面处理的方法，其特征在于：在制绒后的化学抛光工艺中药液循环采用脉冲循环的方式，处理硅片。


2.根据权利要求1所述的一种异质结电池生产中制绒绒面处理的方法，其特征在于：所述的脉冲循环为，循环0.5-100s，停止循环0.5-100s，反复循环至工艺停止。


3.根据权利要求2所述的一种异质结电池生产中制绒绒面处理的方法，其特征在于：所述的脉冲循环时间长度根据脉冲循环比确定，所述的脉冲循环比为，
脉冲循环比脉冲循环比范围为0≤a＜1，
式中，有栏循环时间指化学抛光工艺槽中有花篮时进行循环的时间；
有栏总时间为化学...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙林，孟凡英，杜俊霖，刘正新，陈功兵，何堂贵，
申请(专利权)人：中威新能源成都有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51