一种适用于大尺寸单晶的排气系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种适用于大尺寸单晶的排气系统，包括单晶炉底板和排气管道，排气管道与单晶炉底板连接，还包括排气口和排气口封堵装置，其中，排气口与单晶炉底板连接，且排气口与排气管道连通，便于氧化物排出；排气口封堵装置与排气口转动连接，排气口封堵装置对排气口打开或关闭，控制排气系统排气口打开的数量。本实用新型专利技术的有益效果是结构简单，维修方便，具有排气口封堵装置和管道封堵装置，能够对排气口和管道进行封堵，使得排气口能够分批次打开和关闭，排气管道内具有自净化装置，在保证炉台正常运行过程中，将炉内不断沉积下来的氧化物清扫掉，使炉台正常运行，且分批次打开排气口，降低功耗，降低用电成本，保证单晶质量。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于大尺寸单晶的排气系统
本技术属于直拉单晶
，尤其是涉及一种适用于大尺寸单晶的排气系统。
技术介绍
拉制240-310mm大尺寸单晶，需要配备更大单晶炉及热场包括29-34寸热场，实际运行过程，大尺寸热场由于挥发面积比28寸热场更大，且随着投料量增大，运行时间延长，单晶炉运行过程中会产生更大量的挥发物，极易堵塞排气口，导致排气系统瘫痪，且4个排气口也会使功耗上升，增加用电成本。排气系统原理：挥发物通过炉体排气系统排出炉体，一般排气系统设计在炉底，排气口共设计4个，每两个一组通过分管道连入同一个主管道。氧化物会通过炉体内排气导管输送到炉体外排气管道最后排出炉体，在炉内排气导管与炉体外排气管道相接区域，处于冷热交接位置，氧化物流过会沉积吸附在此处，运行时间久，氧化物堆积越来越多最终将排气口堵塞，导致排气系统瘫痪，最终影响成晶及品质。常规情况运行过程管道堵塞，炉台成晶较差，不能继续正常运行。只能等到停炉后进行管道清理后，开启下一炉。
技术实现思路
鉴于上述问题，本技术要解决的问题是提供一种适用于大尺寸单晶的排本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于大尺寸单晶的排气系统，包括单晶炉底板和排气管道，所述排气管道与所述单晶炉底板连接，其特征在于：还包括排气口和排气口封堵装置，其中，/n所述排气口与所述单晶炉底板连接，且所述排气口与所述排气管道连通，便于氧化物排出；/n所述排气口封堵装置与所述排气口转动连接，所述排气口封堵装置对所述排气口打开或关闭，控制排气系统排气口打开的数量。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于大尺寸单晶的排气系统，包括单晶炉底板和排气管道，所述排气管道与所述单晶炉底板连接，其特征在于：还包括排气口和排气口封堵装置，其中，
所述排气口与所述单晶炉底板连接，且所述排气口与所述排气管道连通，便于氧化物排出；
所述排气口封堵装置与所述排气口转动连接，所述排气口封堵装置对所述排气口打开或关闭，控制排气系统排气口打开的数量。


2.根据权利要求1所述的适用于大尺寸单晶的排气系统，其特征在于：所述排气系统还包括管道封堵装置，所述管道封堵装置与所述排气管道转动连接，所述管道封堵装置对所述排气管道打开或关闭，便于对所述排气管道处挥发物清理。


3.根据权利要求2所述的适用于大尺寸单晶的排气系统，其特征在于：所述排气管道设有排料口，所述排料口与所述管道封堵装置沿着所述氧化物流动的方向依次设置，所述排料口用于沉积的氧化物排出。


4.根据权利要求2或3所述的适用于大尺寸单晶的排气系统，其特征在于：所述排气口封堵装置包括排气口盲板和驱动装置，所述排气口盲板与所述排气口转动连接，所述排气口盲板...

【专利技术属性】
技术研发人员：张文霞，高润飞，王林，谷守伟，徐强，郭志荣，
申请(专利权)人：内蒙古中环光伏材料有限公司，
类型：新型
国别省市：内蒙;15