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本实用新型提供一种适用于大尺寸单晶的排气系统,包括单晶炉底板和排气管道,排气管道与单晶炉底板连接,还包括排气口和排气口封堵装置,其中,排气口与单晶炉底板连接,且排气口与排气管道连通,便于氧化物排出;排气口封堵装置与排气口转动连接,排气口封堵...该专利属于内蒙古中环光伏材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古中环光伏材料有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种适用于大尺寸单晶的排气系统,包括单晶炉底板和排气管道,排气管道与单晶炉底板连接,还包括排气口和排气口封堵装置,其中,排气口与单晶炉底板连接,且排气口与排气管道连通,便于氧化物排出;排气口封堵装置与排气口转动连接,排气口封堵...