【技术实现步骤摘要】
一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置
本技术涉及单晶炉坩埚
,具体为一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,单晶直径在生长过程中可受到温度,提拉速度与转速,坩埚跟踪速度与转速,保护气体的流速等因素的影响,其中温度主要决定能否成晶,而速度将直接影响到晶体的内在质量,而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。传统的单晶炉坩埚驱动装置结构简单,和坩埚的连接结构僵硬,使用者在需要取下坩埚检修或清理坩埚时,坩埚和驱动装置连接在一起难以拆卸,使用者对此颇为烦恼,故而提出一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足,本技术提供了一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置,具备方便拆卸等优点,解决了传统的单晶炉坩埚驱动装置结构简单,和坩埚的连接结构僵硬,使用者在需要取下坩埚检修或清理坩埚时,坩埚和驱动装置连接在一起难以拆卸的问题。(二)技术方案 ...
【技术保护点】
1.一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置,包括载板(1),其特征在于:所述载板(1)的顶部固定安装有锅体(2),所述载板(1)的底部左右两侧均开设有定位槽(3),所述定位槽(3)的内部活动安装有一端贯穿并延伸到载板(1)下方的定位块(4),所述定位块(4)的底部固定安装有托板(5),所述托板(5)的底部固定安装有支撑杆(6),两个所述支撑杆(6)的底部均与底板(7)固定连接,两个所述支撑杆(6)相对的一侧均与横板(8)固定连接,所述底板(7)的顶部且位于支撑杆(6)之间固定安装有驱动电机(9),所述横板(8)的顶部活动安装有一端贯穿并延伸到横板(8)下方的螺纹外杆(10),所述 ...
【技术特征摘要】
1.一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置,包括载板(1),其特征在于:所述载板(1)的顶部固定安装有锅体(2),所述载板(1)的底部左右两侧均开设有定位槽(3),所述定位槽(3)的内部活动安装有一端贯穿并延伸到载板(1)下方的定位块(4),所述定位块(4)的底部固定安装有托板(5),所述托板(5)的底部固定安装有支撑杆(6),两个所述支撑杆(6)的底部均与底板(7)固定连接,两个所述支撑杆(6)相对的一侧均与横板(8)固定连接,所述底板(7)的顶部且位于支撑杆(6)之间固定安装有驱动电机(9),所述横板(8)的顶部活动安装有一端贯穿并延伸到横板(8)下方的螺纹外杆(10),所述驱动电机(9)的输出端固定安装有一端贯穿并延伸到螺纹外杆(10)内部的驱动轴(11),所述螺纹外杆(10)的顶部固定安装有承接块(12),所述承接块(12)的顶部开设有承接槽(13),所述载板(1)的底部且位于定位槽(3)之间固定安装有一端贯穿并延伸到承接槽(13)内部的对接杆(14),所述承接槽(13)的内壁左右两侧均安装有开设在承接块(12)上的安装槽(15),所述承接块(12)的左右两侧均活动安装有一端贯穿并延伸到安装槽(15)内部的控制螺钉(16),所述对接杆(14)的左右两侧均开设有限...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈健,陈立民,高俊伟,韩永龙,罗乾,
申请(专利权)人:阳光能源青海有限公司,
类型:新型
国别省市:青海;63
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