一种防止单晶炉取装石墨埚底碰坏加热器的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种防止单晶炉取装石墨埚底时碰坏加热器的装置及方法。该装置包括由三条臂梁构成的钢架结构、和连接在钢架结构末端的三个钩子；其中，三条臂梁的一端固定在一起，在每根臂梁的另一端分别设有滑动槽；所述钩子具有位于上端的固定部、位于中间的连接杆和位于下端的平头部，滑动槽的外侧端部具有供钩子的连接杆卡入的结合槽；钩子与钢架结构连接时，固定部位于滑动槽内并与之连接，三个钩子的平头部用于勾住石墨埚底的下边缘。通过垂直上下抓取石墨埚底防止过程中碰坏加热器达到安全取装石墨埚底的目的，加强对于主加热器的保护，同时防止对擦炉人员造成不必要的伤害。

A device and method for preventing the bottom of graphite pot for single crystal furnace from damaging the heater

【技术实现步骤摘要】
一种防止单晶炉取装石墨埚底碰坏加热器的装置及方法
本专利技术涉及一种防止单晶炉取装石墨埚底碰坏加热器的装置及方法，属于单晶硅拉制

技术介绍
单晶硅生产的主流技术是采用直拉生长法。在单晶炉中，石墨埚底用来承载石墨坩埚，石墨埚底的下面用石墨轴来支撑。随着半导体行业的发展，对于晶棒直径的要求也越来越大，就需要更大的热场来匹配。大单晶单晶炉热场较大，主要为28寸及以上，其石墨埚底比较重，而且距离主加热器很近，仅有1.5-2.5cm，在取装过程中，容易碰坏主加热器。为了防止取装石墨埚底时碰坏主加热器，减少事故发生概率，需要设计用于取装大单晶单晶炉石墨埚底的装置及方法。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种防止单晶炉取装石墨埚底时碰坏加热器的装置，使用该装置能够快速安全的取装单晶炉中的石墨埚底，防止取装石墨埚底过程中碰坏加热器，加强对于热场主加热器的保护，防止对擦炉人员造成不必要的伤害。本专利技术的另一目的在于提供一种采用上述装置取装石墨埚底的方法。为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种防止单晶炉取装石墨埚底时碰坏加热器的装置，该装置包括由三条臂梁构成的钢架结构、和连接在钢架结构末端的三个钩子；其中，三条臂梁的一端固定在一起，在每根臂梁的另一端分别设有滑动槽；所述钩子具有位于上端的固定部、位于中间的连接杆和位于下端的平头部，滑动槽的外侧端部具有供钩子的连接杆卡入的结合槽；钩子与钢架结构连接时，固定部位于滑动槽内并与之连接，三个钩子的平头部用于勾住石墨埚底的下边缘。优选地，所述臂梁的滑动槽的两侧壁上分别形成有一通孔，其底部设有一固定孔；所述钩子的固定部上设有分别与该通孔和固定孔对应的穿孔。优选地，所述臂梁的顶部分别安装有把手。优选地，所述钩子的平头部的长度为5-8mm。一种使用所述的装置取装石墨埚底的方法，包括以下步骤：(1)先对装置进行简单的安装，将钩子的固定部与滑动槽连接，并使得钩子的固定部能够在滑动槽内相对滑动，且保证三个钩子的固定部分别滑动到最大范围时，钩子均距离加热器1cm以上；(2)滑动钩子使得钩子的平头部分别勾住石墨埚底的下边缘，用销钉将钩子与钢架结构固定连接；(3)在取装石墨埚底的过程中，在垂直上下移动，避免因把手受力不均导致石墨埚底偏移的情况。本专利技术的优点在于：1、石墨埚底距离主加热器比较近，利用本专利技术的装置可以更好的在垂直方向用力抓取石墨埚底，防止取装过程中石墨埚底碰着主加热器，达到保护加热器的目的。2、停炉后，为了保证生产效率，都会在单晶炉未彻底凉透之前进行擦炉，此时埚底还比较烫，利用本专利技术的装置能加强对擦炉人员的保护；3、石墨埚底距离炉筒上沿较远，操作人员在抬石墨埚底时需弯腰向着炉筒里，石墨埚底较沉，易发生不安全事故，本专利技术的装置可以通过增加把手的长度使人方便安全的取出石墨埚底。附图说明图1为本专利技术的装置的钢架主体结构图。图2为本专利技术的装置中钩子的结构示意图。图3为本专利技术的装置中钢架与钩子结合的结构示意图。图4为本专利技术装置在抓取石墨埚底时距离加热器以及石墨埚底的距离。具体实施方式下面结合附图对本专利技术做进一步说明，但本专利技术并不局限于此。如图1-3所示，本专利技术的防止单晶炉取装石墨埚底时碰坏加热器的装置包括由三条臂梁构成的钢架结构1、和连接在钢架结构末端的三个钩子2；其中，三条臂梁的一端固定在一起，每条臂梁的顶部分别安装有把手14。在每根臂梁的另一端分别设有滑动槽3。滑动槽3的两侧壁上分别形成有一通孔4，其底部设有一固定孔5。钩子2具有位于上端的固定部6、位于中间的连接杆7和位于下端的平头部8，固定部6上设有与通孔4匹配的穿孔9，以及与固定孔5匹配的穿孔10。滑动槽3的外侧端部具有供钩子的连接杆卡入的结合槽11。钩子与钢架结构连接时，固定部位于滑动槽内并与之连接，三个钩子的平头部用于勾住石墨埚底的下边缘，其长度为5-8mm。如图3所示，该装置在安装时，现将钩子的连接杆对准并卡入滑动槽上的结合槽内，使得钩子的固定部处于滑动槽内，将螺丝穿置在滑动槽的固定孔和与之匹配的钩子的穿孔，实现钩子与滑动槽之间的大致固定，保证钩子不会从滑动槽滑落并且钩子的固定部可以在滑动槽内相对于臂梁移动。在使用时，沿着滑动槽向内滑动钩子，待钩子的平头部勾出石墨埚底的下边缘后，将销钉15插在滑动槽侧壁上的通孔及与之匹配的钩子上的穿孔内，实现滑动槽与钩子之间的固定，固定后钩子不能在滑动槽内移动。如图4所示，加热器12距石墨埚底13的距离为1.5～2.5cm，在取石墨埚底前先进行简单的安装，先将钩子的连接杆卡在每个臂梁末端的滑动槽上的结合槽内，钩子的平头部向下，然后将螺丝穿置在滑动槽的固定孔和与之匹配的钩子的穿孔，实现钩子与滑动槽之间的大致固定，保证钩子不会滑落即可，此时钩子的固定部可沿滑动槽前后滑动，需要保证三个钩子的固定部分别滑动到最大范围时，钩子均距离加热器1cm以上。钢架结构套在石墨埚底上，沿滑动槽移动钩子，使钩子的平头部勾住石墨埚底的下边缘，确保安全后，将销钉安装在滑动槽侧壁上的通孔和钩子上对应的穿孔内将钩子与滑动槽固定在一起。由两人或者三人握住把手，垂直上下抓取石墨埚底取出石墨埚底。待清理完毕后，采用该装置将石墨埚底送入单晶炉内，位置确定之后，松开销钉，将钩子的固定部在滑动槽内移动，使钩子的平头部与石墨埚底脱离，向上提起钢架结构。本专利技术的装置中，可以在钢架上安装较长的把手，使人不用深入炉筒，有效的保护操作人员。使用本专利技术的装置，在拉晶结束后可以便捷安全的取出石墨埚底，待清理完毕后也可以将石墨埚底放回单晶炉，能更好的在垂直方向抓取石墨埚底，防止过程中碰坏主加热器，加强对热场的保护。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防止单晶炉取装石墨埚底时碰坏加热器的装置，其特征在于，该装置包括由三条臂梁构成的钢架结构、和连接在钢架结构末端的三个钩子；其中，三条臂梁的一端固定在一起，在每根臂梁的另一端分别设有滑动槽；所述钩子具有位于上端的固定部、位于中间的连接杆和位于下端的平头部，滑动槽的外侧端部具有供钩子的连接杆卡入的结合槽；钩子与钢架结构连接时，固定部位于滑动槽内并与之连接，三个钩子的平头部用于勾住石墨埚底的下边缘。/n

【技术特征摘要】
1.一种防止单晶炉取装石墨埚底时碰坏加热器的装置，其特征在于，该装置包括由三条臂梁构成的钢架结构、和连接在钢架结构末端的三个钩子；其中，三条臂梁的一端固定在一起，在每根臂梁的另一端分别设有滑动槽；所述钩子具有位于上端的固定部、位于中间的连接杆和位于下端的平头部，滑动槽的外侧端部具有供钩子的连接杆卡入的结合槽；钩子与钢架结构连接时，固定部位于滑动槽内并与之连接，三个钩子的平头部用于勾住石墨埚底的下边缘。


2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述臂梁的滑动槽的两侧壁上分别形成有一通孔，其底部设有一固定孔；所述钩子的固定部上设有分别与该通孔和固定孔对应的穿孔。

【专利技术属性】
技术研发人员：连庆伟，鲁强，姜舰，秦瑞锋，盖晶虎，戴小林，吴志强，
申请(专利权)人：有研半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11