【技术实现步骤摘要】
一种基于纳米压印光刻的双面金属转印方法及相关装置
本专利技术涉及微纳加工
，更为具体地说，涉及一种基于纳米压印光刻的双面金属图案转印方法、柔性检测器及电子设备。
技术介绍
近年来，柔性材料和柔性加工技术的迅猛发展使得柔性设备吸引了广泛的注意力。新型柔性设备层出不穷，例如柔性显示器，柔性太阳能电池和柔性探测器等等。其中，作为重要的人机交互接口，柔性触摸感应设备扮演了关键的角色。传统触摸设备中的关键材料氧化铟锡(ITO)由于高电阻率和易断裂的性质难以适应柔性设备的需要，因此寻找一种高效廉价的柔性透明导电材料是解决问题的关键。在已有的研究中，石墨烯、碳纳米管、金属纳米颗粒和金属纳米线等材料都被用作有潜力代替ITO的材料，但是这些材料都有共同的问题就是价格较高且加工困难。其中，金属网格材料由于结构比较简单，性能稳定逐渐成为一种理想的替代ITO的材料。然而目前已有的金属网格加工方法无法加工高精度网格结构，网格线宽往往为数微米或十几微米，这不仅会影响整体透过率，还容易被人眼辨认，带来较差的视觉体验。此外现有研究较多使用昂贵的金属材...
【技术保护点】
1.一种基于纳米压印光刻的双面金属图案转印方法，其特征在于，包括：/n提供第一刚性衬底和第二刚性衬底，其中，所述第一刚性衬底的压印表面具有第一金属图案层，及所述第二刚性衬底的压印表面具有第二金属图案层；/n将所述第一刚性衬底和所述第二刚性衬底的压印表面相对设置，且放置一柔性衬底至所述第一刚性衬底和所述第二刚性衬底之间，所述柔性衬底朝向所述第一刚性衬底的第一表面和朝向所述第二刚性衬底的第二表面具有液体胶层；/n调整所述第一金属图案层和所述第二金属图案层对准后，将所述第一刚性衬底和所述第二刚性衬底与所述柔性衬底压合固定；/n固化所述液体胶层为粘接层；/n分离所述第一刚性衬底与所...
【技术特征摘要】
1.一种基于纳米压印光刻的双面金属图案转印方法，其特征在于，包括：
提供第一刚性衬底和第二刚性衬底，其中，所述第一刚性衬底的压印表面具有第一金属图案层，及所述第二刚性衬底的压印表面具有第二金属图案层；
将所述第一刚性衬底和所述第二刚性衬底的压印表面相对设置，且放置一柔性衬底至所述第一刚性衬底和所述第二刚性衬底之间，所述柔性衬底朝向所述第一刚性衬底的第一表面和朝向所述第二刚性衬底的第二表面具有液体胶层；
调整所述第一金属图案层和所述第二金属图案层对准后，将所述第一刚性衬底和所述第二刚性衬底与所述柔性衬底压合固定；
固化所述液体胶层为粘接层；
分离所述第一刚性衬底与所述第一金属图案层，及分离所述第二刚性衬底与所述第二金属图案层，所述第一金属图案层通过所述粘接层固定在所述柔性衬底的第一表面，及所述第二金属图案层通过所述粘接层固定在所述柔性衬底的第二表面。
2.根据权利要求1所述的基于纳米压印光刻的双面金属图案转印方法，其特征在于，在所述第一刚性衬底的压印表面形成所述第一金属图案层前，还包括：
在所述第一刚性衬底的压印表面形成第一抗黏层；
在所述第一抗黏层背离所述第一刚性衬底一侧表面形成所述第一金属图案层；
以及，在所述第二刚性衬底的压印表面形成所述第二金属图案层前，还包括：
在所述第二刚性衬底的压印表面形成第二抗黏层；
在所述第二抗黏层背离所述第二刚性衬底一侧表面形成所述第二金属图案层。
3.根据权利要求2所述的基于纳米压印光刻的双面金属图案转印方法，其特征在于，在所述第一刚性衬底的压印表面形成第一抗黏层包括：
将抛光后的所述第一刚性衬底浸入全氟癸基三氯硅烷溶液中预设时间；
取出所述第一刚性衬底进行烘烤，以在所述第一刚性衬底的压印表面形成所述第一抗黏层；
以及，在所述第二刚性衬底的压印表面形成第二抗黏层包括：
将抛光后的所述第二刚性衬底浸入全氟癸基三氯硅烷溶液中预设时间；
取出所述第二刚性衬底进行烘烤，以在所述第二刚性衬底的压印表面形成所述第二抗黏层。
4.根据权利要求2所述的基于纳米压印光刻的双面金属图案转印方法，其特征在于，在所述第一抗黏层背离所述第一刚性衬底一侧表面形成第一金属图案层包括：
在所述第一抗黏层背离所述第一刚性衬底一侧表面蒸镀第一金属层；
在所述第一金属层背离所述第一刚性衬底一侧表面形成图案化的第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：王亮，杨目奕，许凯，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：发明
国别省市：安徽;34
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