一种纳米压印设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种纳米压印设备，包括腔体，腔体的内腔固定连接有托盘，托盘的顶侧壁装配有基板，腔体的内腔装配有紫外灯罩，紫外灯罩的内腔装配有紫外灯，压板的底侧壁装配有软模具，软模具的底侧壁装配有夹具，紫外灯罩的底侧壁装配有遮光板，遮光板的外侧壁对称固定连接有凹块，凹块的内腔装配有凸块，凸块的外侧壁固定连接有弹簧，弹簧的外侧壁固定连接有侧杆，侧杆的外侧壁与支架固定连接。本实用新型专利技术设置一种纳米压印设备，通过弹簧推动凸块，将遮光板进行固定，然后进行纳米压印，该过程在不更换软模具的情况下，仅需更换基板，实现循环操作，而且避免发生溢胶现象，防止造成基板粘在托盘上难以分离。

【技术实现步骤摘要】
一种纳米压印设备
本技术涉及纳米压印
，具体为一种纳米压印设备。
技术介绍
纳米压印技术是通过光刻胶辅助，将模板上的微纳结构转移到待加工材料上的技术，纳米压印根据固化方式、压印面积、模板等，可分成热压印、紫外压印、微接触压印、步进压印等，基于此，各种滴胶压印和旋涂设备层出不穷，中国专利201720147545.4公开了一种新型纳米压印设备，该设备中包括托板，托板上设有环形槽与真空泵相接通，使用时基板和环形槽形成密闭空间，通过真空泵将密闭空间中的空气吸出，从而固定基板，但在实际操作中，一旦发生溢胶现象，真空泵打开后会将溢出的胶体吸入环形槽，胶体在环形槽中流动固化，会造成基板粘在托板上难以分离。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种纳米压印设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种纳米压印设备，包括腔体，所述腔体的内腔固定连接有托盘，所述托盘的顶侧壁装配有基板，所述腔体的内腔装配有紫外灯罩，所述紫外灯罩的内腔装配有紫外灯，所述腔体的内腔对称固定连接有支架，所述支架的底侧壁固定连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种纳米压印设备，包括腔体(1)，其特征在于：所述腔体(1)的内腔固定连接有托盘(2)，所述托盘(2)的顶侧壁装配有基板(3)，所述腔体(1)的内腔装配有紫外灯罩(4)，所述紫外灯罩(4)的内腔装配有紫外灯(5)，所述腔体(1)的内腔对称固定连接有支架(6)，所述支架(6)的底侧壁固定连接有压板(7)，所述压板(7)的底侧壁装配有软模具(8)，所述软模具(8)的底侧壁装配有夹具(9)，所述紫外灯罩(4)的底侧壁装配有遮光板(10)，所述遮光板(10)的外侧壁对称固定连接有凹块(11)，所述凹块(11)的内腔装配有凸块(12)，所述凸块(12)的外侧壁固定连接有弹簧(13)，所述弹簧(13)...

【技术特征摘要】
1.一种纳米压印设备，包括腔体(1)，其特征在于：所述腔体(1)的内腔固定连接有托盘(2)，所述托盘(2)的顶侧壁装配有基板(3)，所述腔体(1)的内腔装配有紫外灯罩(4)，所述紫外灯罩(4)的内腔装配有紫外灯(5)，所述腔体(1)的内腔对称固定连接有支架(6)，所述支架(6)的底侧壁固定连接有压板(7)，所述压板(7)的底侧壁装配有软模具(8)，所述软模具(8)的底侧壁装配有夹具(9)，所述紫外灯罩(4)的底侧壁装配有遮光板(10)，所述遮光板(10)的外侧壁对称固定连接有凹块(11)，所述凹块(11)的内腔装配有凸块(12)，所述凸块(12)的外侧壁固定连接有弹簧(13)，所述弹簧(13)的外侧壁固定连接有侧杆(14)，所述侧杆(14)的外侧壁与支架(6)固定连接。


2.根据权利要求1所述的一种纳米压印设备，其特征在于：所述凸块(12)的顶侧壁固定连接有外杆(15)，所述外杆(15)的外侧壁与支架(6)间隙配合。


3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：冀然，
申请(专利权)人：青岛天仁微纳科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：山东;37