区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构制造技术

一种区熔单晶炉拉制大直径单晶硅棒的夹持机构，由一个置于真空炉室内，随同下轴边旋转边升降；内腔可通循环冷却水的夹持体，一个焊有拨叉并装有三个支持块的夹持环，与支持块位置对称安装的支持柱，三根斜插在夹持体孔内的夹持棒等零部件组成，当拨转夹持环时，支持块随之转动，脱离支持柱，三根夹持棒不再被卡而在重力作用下沿斜孔下滑，棒端同步接触单晶硅棒，达到夹持目的。（*该技术在1999年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是一种供区熔单晶炉拉制单晶硅棒(特别是拉制φ56mm以上 大直径单晶硅棒)的夹持机构。现有技术引证美国USP4·045·183西德DEP 27·31·011、26·52·199、28·33·615无位错高阻率的大直径(φ60～100mm)单晶硅是现代化高精尖及大型、复杂机电产品中不可缺少的半导体材料。生产大直径单晶硅棒除需要具有长而大的真空炉室的区熔炉和增大高频振荡器功率外，还要有保证单晶硅棒拉制过程中“不倒棒”的稳定机构。为解决“不倒棒”问题，国外采用的方法可归纳为1.用石英砂填满于外筒和单晶硅棒及籽晶之间；2.用低熔点金属充注于单晶硅棒缩颈部位，待金属冷固后增加硅棒稳定性。3.用特种玻璃环托持硅棒，随着拉制温度的升降，玻璃环受热、变形再冷固而与硅棒紧密接触。4.用电器或液压装置控制一个用钛或钼合金制造的夹持体和用电磁开关同步释放三根钛或钼制成的金属销来夹持单晶硅棒。以上方法除充填物的蒸发造成炉室内气氛混浊、含杂影响硅棒质量外，还存在夹持装置结构复杂，需要全部高贵的耐高温金属制造，要有特殊的加热线圈，低熔点金属充注器和容器，内外托座，液压及电气控制机构等附属设备，工本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构，具有装在夹持器斜孔内的金属销构成的夹持元件，其特征为：夹持体（２）具有三个均布对称的斜孔，孔内插有夹持棒（１），夹持棒由支持块（４）托住，支持块用螺钉连接于夹持环（５）上，拨叉（６）焊接于夹持环上，在支持块的下方是支持柱（３），整个夹持机构与真空炉室上、下轴、加热线圈同轴安装于炉室内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：盛耀昌，张印赤，
申请(专利权)人：东风电机厂，
类型：实用新型
国别省市：51[中国|四川]