下载区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构的技术资料

文档序号:2483252

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一种区熔单晶炉拉制大直径单晶硅棒的夹持机构,由一个置于真空炉室内,随同下轴边旋转边升降;内腔可通循环冷却水的夹持体,一个焊有拨叉并装有三个支持块的夹持环,与支持块位置对称安装的支持柱,三根斜插在夹持体孔内的夹持棒等零部件组成,当拨转夹持环时...
该专利属于东风电机厂所有,仅供学习研究参考,未经过东风电机厂授权不得商用。

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