【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种避免钨坩埚体和盖在高温下粘结的组件
技术介绍
目前许多重要的金属氮化物的晶体材料需要用高温气相法制备，例如，氮化铝晶体的制备一般是用钨坩埚加热氮化铝粉料或多晶材料到1900℃～2300℃使其气化，然后在坩埚上部与坩埚盖之间的低温度区再结晶成晶体。钨坩埚具有熔点高、导电性好、抗腐蚀性好等优点，是高温气相法的首选坩埚材料。增加钨坩埚的使用寿命有利于减少实验费用和生产成本。在使用高温气相法制备金属氮化物晶体时，存在一个问题在2000℃以上的高温条件下，钨可以和金属氮化物分解出的气态金属原子形成低熔点的合金。在高温生长过程中，由于坩埚顶部的气态金属原子浓度比较高，在钨坩埚体和盖的内表面会形成一个低熔点合金层。当加热结束后，坩埚体和盖由于低熔点合金的作用，它们就粘结在一起，在取料时需要将盖敲掉，这样就造成坩埚体的顶部凹凸不平，影响坩埚以后的使用，降低了坩埚的使用寿命，增加了生产成本和实验费用。
技术实现思路
本技术提供了一种避免钨坩埚体和盖在高温下粘结的组件，在一定温度范围内解决了生长金属氮化物晶体过程中钨坩埚体和盖粘结的问题，提高了钨坩埚的使用寿命。实现上述目...
【技术保护点】
一种避免钨坩埚体和盖在高温下粘结的组件，由钨坩埚盖［１］、石墨环［２］、钨坩埚体［３］组成，其特征在于石墨环放在坩埚体和坩埚盖之间，并且三者的中心一致。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：武红磊，郑瑞生，鲁枫，孙秀明，
申请(专利权)人：深圳大学，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。